国产半导体装备业崛起 打破海外垄断需技术创新

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1、-电子工业专用设备·行业快讯·r国产半导体装备业崛起打破海外垄断需技术创I一与国外半导体装备巨头相比，国内厂商仍存具备国产化能力，依然需要进口，这也使得国产较大差距，当前国内高端制造装备大多仍需依赖设备的完全自主仍然面临挑战。进口。专家表示，国产半导体装备业亟须努力突破《电子工业专用设备》执行编辑黄刚表示，我国核心技术，加大资本投入，构建完善生态链体系。半导体设备的发展始于模仿，设备本体的设计与制造和与之配套的工艺技术脱节比较严重，战略模式、1国产半导体设备业迅速崛起商业模式、创新能力与国际巨头相比仍存较大差距，据中国

2、科学院微电子研究所所长叶甜春介而且设备供应商缺乏对产品应用趋势和发展方向的绍，近年来国内外市场需求为国产半导体装备业深入了解。即使某些设备供应商的研发团队具有国提供了历史性发展机遇。目前一批极大规模集成际前沿技术研发能力，开发出高端设备，却苦于没有电路制造装备、集成电路先进封装工艺制造装机会进入应用领域进行验证，导致无法在工艺验证备、高亮度发光二极管制造装备开发成功，国产及批量生产过程中发现问题、改进设备，最终高端设装备实现从无到有、从低端装备到高端装备的突备无法实现批量销售、缺乏市场竞争力。破，一些装备开始与国际领先

3、厂商竞争。和国外相比，目前国内半导体装备产业投入不中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金足，规模过小。我国集成电路产业还远未达到可以存忠表示，“十二五”期问国家出台支持发展半导支撑自我良性发展的规模。据计算，解决中国芯片体设备制造业的诸多政策，国家科技重大专项“极进口量30％，需要150万片／月(12寸折算)产能，大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”明确而现有产能仅为8英寸产能40万片／月，12英寸提出，“十二五”期间将重点进行45～22nm关键产能6万片／月。另外，国内半导体装备企业差异制造装备攻关等，使装备和材料

4、占国内市场的份化竞争力和创新能力存在不足。企业缺乏差异化的额分别达到lO％~D20％，并开拓国际市场。产品规划，产品碎片化、同质化严重，无力开展系统从日前举行的“2013年中国半导体制造装备性的研发工作等。战略峰会暨半导体设备市场年会”上获悉，中国盛美半导体董事长兼首席执行官王晖认为，电子专用设备工业协会17家半导体设备制造商在全球半导体装备领域，激烈竞争造成产业的集统计，2012年国产半导体设备销售收入为36．8中和垄断，设备市场进入门槛极高。每种设备有亿元人民币，预计2013年国产半导体设备销售两到三个垄断的设备公

5、司，各有几十亿到百亿美收入为42亿元人民币。元的年产值。而中国的芯片生产的技术和规模有限，国际设备市场95％不在中国，国内市场目前2与国际巨头相比仍存较大差距又不足以支撑一个完全内销的设备行业。随着国家启动专项的支持和推进，一些关键另外，由于从设备开发、引入市场、到实现收半导体设备已从2000年落后国外先进水平5支平衡的周期较长，需要大量资金的支撑，而风代，缩短为现在的1～2代，已有部分设备可以险投资一般很难持续投入和支持。在大生产线上替代国外设备。但仅仅有几种设备国产化还远远不够，国内仍然没有整线制造的能3凭借技术创

6、新实施产业突围力。许多国产半导体设备中的关键零部件也仍不为推动中国集成电路产业进入“黄金圜■圈(总第226期)⑧行业快讯·电子工业毫用设备●·(1202．50，14．60，1．23％)发展时划”，叶甜春表“国产半导体设备产业发要遵循产业发展示，一是曲向国家集成电路产业链建设和战略性的规律”尹志尧表示，对闺际集成电路产业新兴产业发展，以局部关键技术突破为主向全局“超级垄断”和国内“春秋战l{_4”的势态，本土半性、系统性、集成性重火创新转变，组织创新研导体设备公司要有政府的政策扶持，要有资本运发联盟，重点提升企业创新能力

7、。二是要从“跟作的机制和⋯定的资金投入，以及高端人才组成随战略”转向“创新跨越”，在若十核心技术领域的领军团队等。形成具有特色的创新技术和创新产品。而对于当前半导体殴备1-业知产权壁垒中晟光电董事长陈爱认为，国产半导体装很高，国外企业用知识产权作武器阻止新公司进备企业要准确把握和确定市场与客』的关键需入市场的不利局面，国内企、l必须对现有的专利求；创新与经济效益相结合，开发既具有核心竞进行全面分析，必须有A己独立的知识产权，也争力，又能满足客户最关键需求的产品；同产半必须尊再他人的知识产权。此外，困内半导体没导体装备市

8、场化初期也是最关键的时期，须产备，I‘商必须有打入围际m场的部署和渠道，要和业链之间相互支持与合作。海外客户建良好火系，实行双赢策略。—址————址—址—址—址—址—址—址—．——螗．—址—址．址—．址—址—址—址——址—．址———9Jl—址—址．—．．J'．L—St—址．L姒广2014LED行业上中下游即将上演“天亮决战整体来说