封接工艺对玻璃与可伐合金结合性能的影响.pdf

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1、第2期机电元件Voi.25No.22005年6月ELECTROMECHANICALCOMPONENTSJun.2005工艺与材料封接工艺对玻璃与可伐合金结合性能的影响胡君遂，堵永国，陈文莉，唐珍兰（国防科技大学材料工程与应用化学系，湖南长沙410073）摘要：采用正交试验方法研究了封接工艺对玻璃与可伐合金结合性能的影响。利用电子万能实验机和金相法分别测试了封接件的剪切强度和显微组织。结果表明：在封接工艺过程中，封接气氛（N2流量）是最主要的影响因素，封接温度次之，封接时间的影响最小。关键词：高真空度继电器；封接工艺；结合性能中图

2、分类号：TM58文献标识码：A文章编号：1000-6133（2005）02-0037-04InfluenceoftheSealingProcessBetweentheGlassandKovarontheBondingPropertiesHUJun-sui，DUYong-guo，CHENWen-li，TANGZhen-lan（DepartmentofMateriaiEngineeringandAppiiedChemistry，NationaiUniversityofDefenseTechnoiogy，Changsha410073，

3、China）Abstract：Infiuenceoftheseaiingprocessbetweenthegiassandkovaronthebondingpropertieswasstudiedbyorthogonaitestingmethod.Bymeansoftheeiectronicuniversaitestingmachineandthegranu-iarityanaiyzer，thepaperstudiedthebondingstrengthandstructureofthegiass-to-kovar.Theres

4、uitsshowthatthefiuXofN2wasanimportantfactortotheguaiityoftheseaiing.Theseaiingtemperaturewasthesecondimportantfactorandtheseaiingtimewasthethird.Keywords：highvacuumreiay；seaiingprocess；bondingproperties两者的结合性能，而玻璃-可伐合金的封接工艺又直1引言接影响到结合性能。因此开展封接工艺的研究对于提随着我国航天工程的飞速发展，对航

5、天继电器的高航天继电器的真空度水平是十分有益的，对于促进［1，2I要求越来越高。目前，航天继电器主要采用我国航天事业的发展有着重要的现实意义。DM—308型电子玻璃与可伐合金封接，泄漏率高是长2实验期困扰其达到超高真空度的关键。经分析，最主要的影响因素是继电器底座的封接强度和气密性。在玻璃2.1实验材料与可伐合金体系确定的情况下，封接强度主要取决于选用外购的、粒度小于40目的DM—308型电收稿日期：2005-05-0838机电元件2005年子玻璃造粒粉与2mm厚的4J29可伐合金板作为原表1封接工艺正交试验结果材料。流量封接温

6、度封接时间剪切强度气孔率试验号N2Mpa%2.2实验方法11（T）1（920C）1（5min）99.672.412.2.1玻璃-可伐合金封接件的制备22（＠）2（960C）2（10min）112.041.94将玻璃粉压制成!5mmX2.5mm的圆柱形素33（＠）3（1000C）3（15min）103.652.13坯，~700C固化，制成绝缘子；将可伐合金板裁41（T）2（960C）3（15min）98.102.57成尺寸为10mmX10mm、内孔4.5mm的片，超声52（＠）3（1000C）1（5min）102.642.25波清

7、洗后备用；把绝缘子与可伐合金片装配在一起63（＠）1（920C）2（10min）91.932.88置于石墨夹具中，然后放入管式炉中，通N2高温71（T）3（1000C）2（10min）86.423.16烧结制备玻璃-可伐合金封接件。82（＠）1（920C）3（15min）87.463.092.2.2正交试验93（＠）2（960C）1（5min）84.373.32在影响玻璃与可伐合金结合性能的诸多封接工注：T：1L/minX2min，0.5L/min；＠：1.5L/minX2min，1.0L/艺因素中，根据前期的工作，选取N2流量

8、、封接min；＠：2L/minX2min，1.5L/min。温度、封接时间这三个因素，采用三水平的正交试表2封接工艺正交试验极差表［3］验，通过比较其极差的大小，确定影响次序。N2流量封接温度封接时间2.2.3性能表征I94.7393.0295.56用电子万能实