多孔SiO2减反射薄膜的低温制备及光伏应用.pdf

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1、2015年1月西南民族大学学报(自然科学版)Jan．2015第41卷第1期JournalofSouthwestUniversityforNationalities(NaturalScienceEdition)Vo1．41No．1doi：10．11920／xnmdzk．2O15．O1．015多孔SiO2减反射薄膜的低温制备及光伏应用陈攀，高文敏，张静全，王文武，曾广根，李卫，武莉莉，冯良桓(四川大学材料科学与工程学院，四川成都610064)摘要：采用溶胶凝胶法，使用氨水催化前驱物正硅酸乙酯(TEOS)水解制

2、备SiO胶体．通过改变溶液浓度调节胶体粒子大小，旋涂低温制备不同折射率纳米多孔SiO：薄膜．使用激光粒度仪和透射电镜分析胶粒大小及分布，粒子分布均匀且在几十纳米范围；使用椭圆偏振仪、紫外／可见分光光度计、扫描电子显微镜表征减反射薄膜的光学性质和表面形貌，发现薄膜表面呈颗粒状且折射率较低，在400nm至800nm波段的透过率平均提高了4％．将溶胶涂在CdS／CdTe太阳电池基底背面，测试结果发现，使用减反射薄膜后电池吸收波段内量子效率(QE)提高，短路电流密度提高了4．45％；光电转换效率由11．50％提高

3、到11．94％．关键词：SiO2胶体；减反射薄膜；CdS／CdTe电池中图分类号：TB383文献标志码：A文章编号：2095-4271(2015)01-0083-05PreparationofporousSiO2antireflectionatlowtemperatureandapplicationtosolarcellCHENPan，GAOWen—min，ZHANGJing—quan，WANGWen—wu，ZENGGuang—gen，LIWei，WrULi—li，FENGLiang—huan(Schoo

4、lofMaterialsScience&Engineering，SichuanUniversity，Chengdu610064，P．R．C．)Abstract：SiO2colloidswerepreparedbysol—gelmethodswithTEOSasprecursorandammoniaascatalyst．DiferentsizesofSiO2colloidswereobtmnedbychangingtheconcentrationofthesolutions，andthennano—poro

5、usSiO2anti—reflectionfilmswerepreparedbyspincoatingmethodsatlowtemperature．TheTEMandlaserparticlesizerindicatedtheparticledistributionwasuniformanditssizeWaSabouttensofnanometers．Theopticalpropertiesandsurfacemorphologyofthefilmswereexaminedbyellipsometry

6、，UV／visiblespectrophotometer，SEM．Itwasfoundthatthefilmsurfacewasporousandthetransmittanceincreas-esdbyanaverageof4％intherangefrom400nmto800nm．Theoptimizedprocesswasusedtoprepareanti—reflectionfilmsonthebacksidesofCdTethinfilmsolarceils．Itwasfoundthatthesh

7、ort—circuitcurrentdensi~ofsolarcellswithanti—reflec—tioncoatingsincreasedby4．45％comparedwitllthatwithoutanti—reflectioncoatings．andthephotoelectricconversionefi—ciencyincreasedfrom11．50％to11．94％．Keywords：SiO2colloid；anti—reflectivethinfilm；CdS／CdTesolarce

8、ll在电池或组件的光入射面上形成具有减反增透进行化学腐蚀获得绒面结构，然后沉积适当结构的效果的微纳结构或制备减反增透薄膜是有效提高其SiN、A1：O。等减反增透薄膜'；而晶体硅组件封装用光电转换效率的重要技术手段．如晶硅电池片，首先玻璃，或使用机械压制成型制备具有适当减反增透效收稿日期：2014．11-23作者简介：陈攀(1989一)，男，汉族，重庆人，硕士研究生，研究方向：新能源材料与器件．通信作者：张静全(1970一)，男