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1、GMP规定的洁净度尘粒最大允许数微生物最大允许数相当于ISO洁净级别3≥0.5μm≥5μm浮游茵/m尘降菌/皿分数级100级3,500051ISO，5级10,000级350,0002,0001003ISO，7级100,000级3,500,00020,00050010ISO，8级300,000级10,000,00060,00015联邦标准209E分级限值3分级限值（颗粒数/ft）209E分级限值0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5.0μm1级357.53110级350753010100级7503001001000级1,000710000级10,0007010
2、0000级100,000700ISO14644规定的洁净度等级及传统分级3ISO14644最高浓度极限（颗粒数/m）近似对应传分级0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1.0μm5.0μm统规格ISO1级102ISO2级10024104ISO3级1,0002371023581级ISO4级10,0002,3701,0203528310级ISO5级100,00023,70010,2003,52083229100级ISO6级1,000,000237,000102,00035,2008,3202931,000级ISO7级352,00083,2002,93010,000
3、级ISO8级3,520,00832,00029,300100,000级ISO9级35,200,0008,320,000293,000浮游粒子洁净度等级等级限值等级名称0.3μm0.5μm5μm333333颗/m颗/ft颗/m颗/ft颗/m颗/ft101060303501010010600300350010010003500010002507100003500001000025007010000035000010000025000700洁净室静态测试项目指标洁净等级100级1000级100000级300000级≥0.5μm(个≤3500≤350000≤350000
4、0≤10500003/m)≥5.0μm(个≤0≤2000≤20000≤600003/m)沉降菌/皿≤1≤3≤10≤153沉降菌/m≤5≤100≤500—静压差相邻不同级别空间的静压差绝对值应＞5Pa;洁净室与室外的静压差＞10Pa照度一般宜为300LX，若工艺上有特殊要求则照工艺要求噪音≤65db(A)温度一般为18℃～26℃相对湿度一般为45%～65%洁净室的换≥100（次/h）≥50（次/h）≥20（次/h）≥10（次/h）气次数
