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时间:2020-03-31
《Touch In-Cell、On-Cell、OGS、TOL与玻璃二次强化的制程运用.doc》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在工程资料-天天文库。
1、随着苹果(Apple)将采用touchin・cell(如图1)内嵌式触控技术在Iphone5产品上,高阶智能型手机产品无不争先恐后的仿照跟进搭配incell制程面板,触控面板市场的战国时代也逐渐引爆(如图3),这是一场纯触控面板厂(ex•台厂TPK/洋华)的生存危机之争,有专家学者认为未來触控市场有可能会被TFT-LCD面板厂(ex•台厂AUO/ChiMei)分食。TouchIn-cell技术有着3C产品轻薄的概念,搭配产品透光率高,可增佳亮度与节能省电等三大优势,外加黄光技术门坎甚高一般竞争者不易切入,故Apple
2、选择技术门坎与独占性高的产品为其市场,藉此区隔开与一般竞争对手的差异•性;但也有学者认为imcell在良率与生产依然有很大的问题,短期3~5年内应无机会取代外挂式触控面板,例如OGS(OneGlassSolution)和TOLfTouchOnLens)的市场地位,因此以目前技术门坎观Z,小尺寸产品可能可以走向Touchin-cell或是orvcell(如图2)制程,但大尺寸面板如13吋以上采用OGS/TOL技术会是比较好的选择方向。一>OGS(OneGlassSolution)和TOL(TouchOnLens)制程差
3、异性与运用方向OGS和TOL在制程上的区别(如图4)主要是在于OGS为玻璃母皋板(sheet)进彳亍金属线镀膜(sputter)和BM/ITO制程,再经过切割(Cutting)和研磨精雕制程(Grinding)为小基板(chip),接下来用二次化强或是物理抛光研磨修整玻璃边缘的细微裂痕(chipping);TOL则是玻璃母基板(sheet)先进行切割和研磨精雕制程为小基板,再进行玻璃二次化强或是物理抛光修整玻璃段面因切割所产生的微小裂痕,修整完毕后再进行玻璃强化(以化学离子交换方式强化为主),然后进行金属镀膜和BM制
4、程。OGS和TOL两者都有业者采用,其主要目的有所不同,譬如OGS为了达到强度需求,必须采用强化玻璃如Corningfit,Gorilla等当作母基板材质,故玻璃成本容易垫高,而且在切割加工参数较难调整,容易产牛切割后的玻璃边缘龟裂(chipping),乂因玻璃切割形状无法有太特殊的形状(ex•按键孔洞与耳机孔洞);但TOL则采用非强化玻璃为母基板材质,玻璃切割制程较容易掌握口调控,若需要特殊形状的切割是以TOL制程为较佳选择。二、沉浸式湿制程设备(DippingTypeWetBenchSystem)化学二次强化制程
5、简介不管是Touchin-cell/on-cell或是OGS/TOL,只要有牵涉到玻璃切割与加工的制程都会产生细微裂痕(chipping)问题,故玻璃端面的修复制程在触控面板制程中就占了不可缺少的部份。端面修复方式可分物理性抛光(polish)和化学蚀刻(etch)两种方式,根据产品需求和公司产品策略规划的有其适用性。以化学方式而言,目前业界广泛使用抗酸膜贴覆或抗酸油墨涂抹在OGS或TOL的玻璃两侧,仅仅舉出玻璃切端面,然后针对玻璃切割端面进行蚀刻制程。一般化学方是都采用沉浸式湿制程设备,此设备区分两大系统:⑴化学蚀
6、刻系统(ChemicalEtchingSystem)主要为蚀刻制程与清洗化学残液,并将小基板(chip)上的水份移除,系统屮也许会包含化学液体的浓度侦测仪器和温控仪器,调整制程的温度和监控化学液体成分的浓度,稳定制程条件,保持产品蚀刻均匀度(Uniformity)。⑵化学混酸系统(ChemicalMixingSystem):当主蚀刻设备的浓度监控仪器,确认蚀刻槽内化学液体浓度下降到需补酸的范I韦I,侦测系统将传递讯号给化学混酸系统,将所需弥补的化学剂量计算出后,利用马达(pump)将混酸槽(Mixingtank)的液
7、体供给入化学蚀刻槽,让化学蚀刻酸液均匀混和。图5为玻璃化学二次强化制程之流程解说,首先将玻璃放置于载具(Cassette)内浸泡到化学蚀刻槽(ChemicalTank),进行蚀刻制稈,然后于水槽中去除化学蚀刻液体,最后将基板上的水分去除。以化学的二次强化制程而言,要提升产品的蚀刻良率与产能将取决丁五大因素:2)玻璃的材质、2)化学混酸种类与比例、3)化学混酸pH值、4)蚀刻制程温度、5)蚀刻制程时间、6)蚀刻槽体的流场设计(如图6)。操作者必须依照每个产品之规格需求,进而调整优化的参数,以便达到最大产值和最佳良率。由
8、其是槽体的流场设计,占据化学蚀刻良率极人比例,弘塑科技GSD研发团队以半导体的制程经验与专利设计,开发适合光电面板产业的制程槽体,对在最短时间内达到槽体内化学液体均匀混合,简短制程停机时间与提供良好的制程效率。三、结论早期双片式电容触摸屏,由丁Lens和sensor分开,Lens是先切割、钻孔、打磨、然后再强化,这样的制程已非常成熟与稳定,所以
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