简单操作流程.doc

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1、國科會南區微機電系統研究中心簡單操作流程1.刷卡、填儀器紀錄簿、插上真空馬達插座2.打開主機及面板之POWER（主機POWER，機台後方）（面板POWER）3.進入DATASET設定＊按下▲、▼鍵，選擇programNO﹒＊SET鍵移往設定畫面4.開始設定program國科會南區微機電系統研究中心＊設定SPINTIME、SPINSPEED（SPINTIME為到達所設定回轉數的時間）＊最後一個STEP需將MODE設為92.回到主畫面，進入AUTORUN畫面＊將SAMPLE放置STAGE上面，然後『VACON』＊利用▲、▼鍵，指向所設之PROGRAMNO.3.按下START鈕，即開始S

2、PIN動作國科會南區微機電系統研究中心＊若有任何狀況『RESET』鈕燈即會亮，則依所發生之錯誤訊息，重新設定＊若欲停止SPIN動作，則按下『STOP』鈕＊若有任何緊急狀況，欲全部動作停止者，按下『EMERGENCYSTOP』鈕2.SPIN時，會依所設定之PROGRAM執行每個步驟＊畫面下方會顯示目前的轉速，SPIN的時間，及所RUN之PROGRAM國科會南區微機電系統研究中心＊SPIN結束時，buzzer會響3秒，stopswitch燈即亮，回到自動運轉menu選擇畫面＊自動運轉時，若蓋子被打開即會自動停止，時警報器響，stop燈亮。按resetswitch鍵來停止buzzer，返

3、回到自動運轉menu選擇畫面。2.若欲重複SPIN時，則重複3~7之步驟3.清理動作：＊將無塵布換掉，換上新的無塵布＊將機台沾到光阻液之地方清洗乾淨4.關機＊切調主機電源＊拔掉馬達插座＊刷卡、填寫會議記錄簿