广晟光伏单晶硅片检验标准zy-08.2.4-07.docx

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1、Q江苏广晟光伏科技有限公司企业标准Q/太阳能电池用单晶硅片2011-6-18发布2011-6-20实施江苏广晟光伏科技有限公司发布Q/前言本标准根据GB/T26071-2010《太阳能电池用硅单晶切割片》进行制定。本标准于2011年6月18日首次发布,从2011年6月28日起所生产的产品必须符合本标准的规定.本标准由江苏广晟光伏科技有限公司负责起草.本标准主要起草人:江洋太阳能电池用单晶硅片1.范围本标准规定了太阳能电池用硅单晶切割片的要求、试验方法、检测规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或

2、订货单）内容。本标准适用于直拉掺杂制备的地面太阳能电池用硅单晶切割片。2.规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注明年代的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注明年代的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T××太阳电池用硅单晶GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1552硅锗单晶电阻率测定直排四探针法GB/T1553硅和锗体内少数载流子寿命光

3、电导衰减法GB/T1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法GB/T1555半导体单晶晶向测定方法GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1558硅晶体中代位碳含量的红外吸收测量方法GB/T6616半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定非接触涡流法GB/T6618硅片厚度和总厚度变化的测试方法GB/T6620硅片翘曲度的非接触式测试方法GB/T2828逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查）GB/T11073硅片径向电阻率变化的测量方法GB/T14140.2硅片直径测量方法千分尺

4、法GB/T14264半导体材料术语GB/T14844半导体材料牌号表示法SEMIM6太阳能光电池用硅片规范SEMIMF1535用微波反射光电导衰减法非接触测量硅片载流子复合寿命的测试方法3术语GB/T14264确立的术语和定义适用于本标准。线痕：硅片在线切割过程中产生的切割痕迹。4要求4.1产品分类硅单晶片按导电类型分为P型、N型两种类型；按外形可分为圆形和准方型硅单晶切割片。4.2规格硅单晶片按尺寸分为F150mm、和F200mm，□125mm×125mm、□156mm×156mm，或由供需双方商定规格

5、。4.3尺寸及允许偏差4.3.1硅片厚度和厚度偏差硅片厚度应在150μm-240μm的范围。但用户有特殊要求时，由供需双方商定。表1　太阳能硅片厚度和厚度偏差硅片厚度（中心点）/μm160180200220240厚度允许偏差/μm±20±20±20±20±204.3.2圆形太阳能用硅单晶硅切割片4.3.2.1直径及其允许偏差供太阳能电池用的圆形硅单晶切割片直径和允许偏差要符合表2规定。表2太阳能硅单晶片直径及允许偏差单位：mm类别直径范围直径允许偏差标称直径150±0.5200±0.54.3.2.2总厚度

6、变化（TTV）≤30μm。4.3.2.3翘曲度≤75μm。4.3.2.4弯曲度≤50μm。4.3.3准方形太阳硅用硅单晶切割片4.3.3.1准方型硅单晶切割片的几何尺寸：见图1、表3。图1太阳能电池用准正方形硅单晶切割片尺寸表3太阳电池用准正方形硅单晶棒断面尺寸标称尺寸（mm）尺寸（mm）AaBaCaDa最大最小.最大最小最大最小最大最小125×125125.50124.50150.50149.5084.5681.2422.1319.97156×156156.50155.50200.50199.50126

7、.57123.7316.3914.46a字母在图1中标出4.3.3.2总厚度变化（TTV）≤30μm。4.3.3.3翘曲度≤75μm。4.3.3.4弯曲度≤50μm。4.3.4尺寸和允许偏差如有特殊要求，可按照其它方案进行，或由供需双方商定。4.4电性参数4.4.1太阳能电池用硅单晶棒电阻率范围和径向电阻率变化应符合表4的规定。表4太阳能硅单晶的电学性能参数导电类型晶向电阻率范围Ω.cm径向电阻率变化/%少数载流子寿命/μsP<100>0.3～6≤15≥10N<100>0.5～20≤20≥604.4.1电

8、阻率范围和径向电阻率变化如要求按照其它方案进行，由供需双方商定。4.5晶向偏离4.5.1圆形和准方形直拉硅单晶晶向偏离度不大于3°4.5.2破方硅单晶表面晶向偏离度不大于2°；边缘晶向为<100>±2o；方形相邻两边的垂直度为90°±0.3°。4.6氧含量直拉硅单晶的间隙氧含量应小于1.3×1018atoms/cm3；或按需方要求提供。4.7碳含量直拉硅单晶的碳含量应不大于1×1017atoms/cm3;或按需方要求提供。4.