JBT 9352-1999 透射电子显微镜 试验方法.pdf

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1、KS17.1的.加N33J--}中华人民共和国机械行业标准JB/T9352-1999透射电子显微镜试验方法Testmethodforthetransmissionelectronmicroscope1999-08-10发布2000-01一1实施国家机械工业局发布JB/T9352-1999前言本标准是对ZBN30007-88《透射电子显徽镜试脸方法》的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有变化。本标准自实施之日起，代替ZBN30007-88,本标准由全国光学和全国光学仪器标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位:上海电子光学技术研究所、上海光学仪器研究所。中华人民共和

2、国机械行业标准JB/T9352-1999透射电子显微镜试验方法代替ZB30007-88Testmethodforthetransmissionelectronmicroscope范围本标准规定了透射电子显微镜(以下简称电镜)的试验方法。本标准适用于透射电镜主机性能的试验。2引用标谁下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB7667-19%电子显微镜X射线泄漏剂里规定1B/T9351-1999电子光学仪器包装通用技术条件3总则3.1本标准的排列次序，并非试验时的

3、规定程序，试验时可按具体情况进行安排，但应以后项试验不受前项试验的影响为原则。3.2电镜应在下列的正常条件下进行试验:a)环境温度:20'W'C,变化率小于1TA;b)相对湿度:不超过70%;C)电源:单相220V士22V,5OHzt0.5Hz;三相380V士38V,50Hzt0.5Hz;d)电源电压波动率:1min内不大于1%;司具有独立地线，接地电阻不大小411;0物镜周围杂散磁声，交流不大于3x10-';B)水源:流量、压力符合产品说明书要求，进水沮度为10`C-25}C;h)震动:地面振幅不大于2p.m(51rz),5}Lm(10Hz),6pm(20Hz);i)其它:无影响测量的

4、各种千扰。3.3电镜通电预热时间不超过2h.4分辨力试验4.1试验设备a)10倍读数放大镜;b)激光衍射仪。4.2试验程序在测定分辨力时，电镜的放大率必须是经过校正的。4.2.1晶格分辨力的试验国家机械工业局1999-08-10批准2000-01一1实施1JB/T9352-1999使电镜处于最佳工作状态，然后拍摄与电镜指标相应的已知晶格条纹照片，在所拍的照片上，晶格条纹应该是清晰的，条纹间距与已知的晶格间距相符.此晶格间距即为电镜的晶格分辨力。4.2.2点分辨力的试验4.2.2.1调整电镜，使其处于最佳工作状态，然后连续拍摄两张点分辨样品的照片。4.2.2.2将所拍得的照片进行光学放大，

5、其光学放大率不应大于10倍，放大后的分辨间距不小于0.4mm,4.2.2.3在放大后的照片上寻找两对以上能分辨的点，每对点的连线之间的夹角应大于600，并必须在另一张照片上能找到这两对对应点。然后测t两点之间距离。将此距离换算或样品上的实际距离，这实际距离中的较大者即为点分辨力。5放大率的试验5.1试验样品a)采用经过标定的样品，误差在t5%以内。b)放大率不大于10万倍时用非磁性金属网格及光姗的复型样品。c)放大率大于10万倍时用晶格样品。52试验程序5.2.1在电镜所标称的最低和最高放大率及两者之间任选三档，共五档，各拍一张照片记录。5.2.2用网格或光栅测定放大率时，需取五条(或五

6、格)以上进行测Io52.3在样品上找标记用比较法测定放大率时，标记的大小需求在较高倍时大于1/2底片宽度，每次比较的两档放大率相差不大于2倍。5.2.4有多档加速电压的电镜.可选择两档常用的加速电压，每档均按上述方法进行测试。6样品污染和漂移的试验6.1试验样品采用膜孔样品，膜孔尺寸似在荧光屏上放大到20mm-30mm为宜。6.2试脸程序6.2.1电镜处于拍摄分辨力的最佳条件，超过10万倍的电镜可选用不小于10万倍的放大率。6.2.2选一较国整的孔调到荧光屏中心位I,物镜调焦到正焦状态照相睡光，嗓光f比正常约少1/3,62.3冲洗印放照片后按公式(1)和(2)分别侧量计算污染与漂移f，见

7、图1,D.-刀.2M"r10式中:Q一污染率,nm/min;D,—第一次睡光时照片的膜孔直径，mm;D一第二次嗓光时照片上的膜孔直径，mm;对-照片总放大率;‘—第一次睡光结束到第二次吸光开始的时间,min，一般取10min,Qo=}M-l"10-..................................................(2)式中:QD漂移率,mn/min;L—照片上膜孔象D:与几的中心距，mm,JB/T9