JBT 6842-1993 扫描电子显微镜试验方法.pdf

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1、中华人民共和国机械行业标准JB/T6842一93扫描电子显微镜试验方法1993一07一09发布1994一01一01实施中华人民共和国机械工业部发布中华人民共和国机械行业标准JB/T6842一3代替ZBY34D一85扫描电子显徽摘试验方法1主题内容与适用范围本标准规定了扫描电子显微镜〔以下简称扫描电镜)的试验方法。本标准适甫于扫描电镜主机性能的试验。2弓1用标准GB7667电子显微徽X射线泄漏剂量规定ZRN3O005电子光学仪器包装通用技术条件IB/T5384扫描电子显徽镜技术条件JB5517光学仪器电气防护基本安全要求3试验条件3.1试验的环境条件为:

2、a20士5℃奋环境温度‘b相对湿度不超过70%;供电电源单相22吞上22y、50土IHz三担明咚士38v、50土IH·;_d.具有独立接地线.其接地电阻不超过4n斋e.试验室的杂散磁场不超过5x10，T;f.试验室应无频率为后泛饱。H:，振幅超过知m的展动;9.水冷系统的流量不低于21/二in，压力不据子4.gx10.Pa.水温不高子225七。3.:在测试电性能时，项热时间不得超过6omi公4技术性能试验4.1分辨力41.1试验设备a.十倍读数放大镜;b.灰度等级卡;c.。一125mm，测量护度为。·02咖的游标卡辰石机械工业部1993一07-09批准

3、1994一1司1实施JB/T6842一93112试验祥品。表面蒸金碳片;b表面蒸金邀带。4工3试验程序4‘31根据不同堆型打簿组蓑为分辨学拍称声翔服湘左的放大洛率，拍摄表髦分辞力照片。测得间隙宽度的最小值。(见图1)可1忿询滚宽度示意图4，.3:表证分辨力的照片燕赫具有，级灰度等级标准中不低于三级赞截声照片上不应存在明显的毛列4133表证分辨力照片互有两乡眨似上，吞拍摄挂程中决许改变卫作条法口4134在放大到照相炎无屏图象尺寸的表征分辨力的照片上，街出何距篆小由两个间凉(它们的法线之间夹角必须大于6。’)测定其宽度，按下式计算分辨力值。、=今丈10.一

4、，’一(1)少1式中:A—分辨力直a—}司凉宽度.M—拍摄时放大倍率。42放大涪率421试验设备0一犯smm，情度为。.魄，的游标卡威422试验祥品a蒸金方网格光栅;b.蒸金塑料球123试验程序423.1在标称最低倍率和括摄分辨力的倍率上，以及两者之间任性与个涪鱼亡共五个倍率)各拍摄一张照片进行测定。42.32在测定高于含歹鲤吵鲜矜率时流吵鲍的参考作对比。423.3放大倍率按下式计算宕福J城坛一二.J‘.门少.，峨户，尽.侧，抽之产甲钾澳吮.才式中:M—图像放大倍率;山照片上网格条纹间库或图形d一试祥上网格条纹间走际准巅尺寸M光学(交大倍率‘43真空度

5、431试验设备。复合真空计JB/T6842一93计时钟。43:试验程序在试样室附近安置，个测量真空的婆口，并处于大气状态，用电离离空计印计时钟测量并记录:a记录自开机至1探目工作离空的盯间;b记录自开机至近到极限真空药时间;。.记录更换试徉(亥灯丝)后.重新恢复工作X空的时两福44图象德定性44.1试验设备0一125mm、精度为夕.02亩m的游标卡尺。44.2试验徉品a表面蒸金碳片;b表面蒸金磁带;c金属栅网或蒸金方网格光栅。443试验程序43.1扫描电镜处于拍摄分沸力的的工作状态，在不改变杯验条件情况下，间隔5二。在同一底片上分别拍摄两幅图象照片。4

6、4.3.2对所拍的图象思片，选取待征点，测定在smin或戈。mm时属内爵钱盆t如图2所示以mm表示)。图2图象漂移量测定示意图4433测定图象保持基本请晰时间t。45图象畸变图象畸变应作下列试脸;。梯形畸变、桶形暗变、枕形畸变;b.正交畸变;c一边缘与中心的倍率误登。451试验设备a。一125mm，精度为。.昭山m的游标卡尺。b量角器。452试验样品金属栅网或蒸金方阉，格光栅。45.3试验程序4531扫描电镜放大落串为10倍时试样置子水平位置拍摄一梁两格某级不少于10条的照片。4532在拍摄的照片上应标记出显象管的象幅尺寸。4533以照片上的图象中心点

7、画出X、Y坐标轴，连接图象测量区四个端点的A、B、C、D构成轮廓线、测量轮廓线与格子图象距离〔边缘不完整的方格不予计入)。如图3所示。JB/T6842一93图3图象崎变侧量示意图453.4按下列公式计算图象的梯形畸变、桶形崎变和枕形畸变:AD一BC水平涕形畸变TH=x100%”.·.-⋯-⋯“(3)AD+BCAB一DC垂直梯形琦变Tv=XIOO%···，二(4)A且千DC上下桶形畸变BH=4xx100%⋯⋯(5)AD+BC式中:a二。—取a:、a:中的大值。一一。，**，。，b~生甸洲形呵艾。v=任入下;我味六兀二入luu力(6)广、工〕，rIJ七式中

8、二玩.x—取b:、b:中的大值。上下枕形琦变场=4xX100%(7)AD+BC式中二c。。—取