行波电极测试系统中的共面微波探针研究.pdf

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1、2017年8月舰船电子对抗Aug．2017第40卷第4期SHIPBOARDELECTRONICcouNTERMEAsuREV01．40No．40行波电极测试系统中的共面微波探针研究路宇1，戴春华2(1．中国船舶重工集团公司第4=--=研究所，江苏扬州225001；2．海军驻扬州七二三所军事代表室，江苏扬州225001)摘要：微波探针是测量系统与芯片之间传输信号的媒介，是实现半导体芯片的在片检测和筛选的重要工具之一。研究了一种用于测试行波电极的p孓G型共面微波探针，通过理论仿真得到了优化的微波探针参数，并进行了微波探针的制备实验。最后通过矢量网络分析仪对探针进行性能测试。测试结果表明微波

2、探针具有10GHz左右的3dB带宽。在13GHz频率范围内，微波探针具有较低的插入损耗。该探针性能优良，成本低，工艺简单，对于促进电光调制技术与光电器件的发展具有重要意义。关键词：微波探针；在片检测；特性阻抗；s参数中图分类号：TN454文献标识码：A文章编号：CN32—1413(2017)04一0110—07DoI：10．16426／j．cnki．icdzdk．2017．04．028ResearchintoCoplanarMicrowaveProbeinTravelling。waveElectrodeTestSystemLUYul。DAIChun—hua2(1．The723Insti

3、tuteofCSIC，Yangzhou225001，China；2．NavalRepresentativeOfficeBasedinThe723InstituteofCSIC，Yangzhou225001，China)Abstract：ThemicrowaveprobeisamediumofsignaltransmissionbetweenmeasurementsystemandthewaferandiSoneofimportanttoolsrealizingon—wafermeasurementandfiltrationofsemi—conductor．Thispaperstudie

4、sacoplanarmicrowaveprobeoftypeGS-Gfortestingtravelling—waveelectrode，throughtheorysimulation，obtainstheoptimizedmicrowaveprobeparameters，andper—formspreparationexperimentofmicrowavveprobe，finallyperformstheperformancetesttotheprobethroughvectornetworkanalyzer．Thetestresultsshowthatthemicrowavepr

5、obehas3dBbandwidthofabout10GHz．ThemicrowaveprobehaslowerinsertionlOSSbelow13GHZ．Themi—crowaveprobehaseminentperformance，lowcostandsimpletechnic，whicharesignificantinpro—motingthedevelopmentofelectro—opticmodulationtechnologyandphotoelectricdevice．Keywords：microwaveprobe；on—wafermeasurement；chara

6、cteristicimpedance；Sparameter；—∑一口随着信息技术的进步，半导体器件不断朝着小体积、高密度、高频的方向发展。然而如何及时准确地测试这些高频器件的性能却成为一个难题。传统的测试方法是将器件进行封装，然后利用夹具对其进行测试。这种测试方法不仅会引入额外的影响因素使测试结果不准确，而且效率低下，容易造成封装工序的浪费，严重制约了半导体工业的进一步发展，收稿日期：2017一03—22因此亟待一种新的方法实现更加高效准确的测量。在这种背景下诞生出了专门用于在片检测高频半导体器件的微波探针测试系统。微波探针测试系统包含微波探针、探针支架、电缆、载片台等组成部分。作为其

7、中的核心部件，微波探针实现了引导高频信号在器件芯片与测试系统之间传输的作用。利用微波探针可以在器件封装之前直接对其进行高频特性测试，实现在片筛选，这对于器件芯片生产效率的提高和微波器件的发展都具有第4期路宇等：行波电极测试系统中的共面微波探针研究积极意义uj。本文主要研究了一种用于测试行波电极的共面微波探针。行波电极是一种广泛采用的电极结构。作为电光调制器的核心部分，行波电极的性能对整个电光调制器的性能具有重要影响，因此需要及时准确的测量。由于