JRW设备介绍-刘志兵.ppt

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1、刘志兵2011.04.01JRW-01K设备说明曝光技术科一、JRW简介二、JRWLayout三、PipingLayout四、TheOutsideJRWsystem：JasRework，即光刻胶重工装置，其目的是剥离需要重工的JAS有机绝缘膜装置。先通过I-UV单元对有机绝缘膜进行曝光，再通过显影单元对曝光后的有机绝缘膜进行显影，最后再进过洗净单元的清洗，从而达到去除JAS有机绝缘膜的目的。1、JRW简介PanelFlow:LD→Conv.→I-UV→DEV→UDSystemTact:180sec

2、2、JRWLayoutLD/ULDSubArmRotaryStageI-UVDeveloperUnitRollerConveyorUnit剥离基板上曝光后的Jas有机绝缘膜对Jas有机绝缘膜进行曝光17105mm3、PipingLayout4、TheOutsideLD/ULDSubArmRotaryStageI-UVDeveloperUnitRollerConveyorUnitInstageunitI-UVunitDeveloperDeveloperRinseOutofstageInstageUn

3、it:3pin*5=15pin31roller.RollerConveyorUnit：主要包括3段，每段都有38roller.I-UVUnit:5pin*5=25pinRotaryStageSubArm：up-hand&down-hand，各4个arm，各12真空吸盘。StageUnit:3pin*5=15pin26roller，1个静电消除器；Dev.1:3钢+32白roller，2个Nozzle，每个Nozzle上均匀分布5个显影液（0.5%）管路和6个CDA管路。Dev.2:39白rolle

4、r；Dev.3：16白+2钢+12白+4钢=34roller；Rinse1&HighPressRinseRinse2AirKnife：11roller;Outofstage:3*5=15pin；29roller，1个静电消除器。谢谢！