微细电极的正交点电接触在线测量及组合制作工艺.pdf

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1、《电加工与模具)2013年第6期设计·研究微细电极的正交点电接触在线测量及组合制作工艺佟浩，张龙，李勇，李宝泉。(1．清华大学机械工程系／摩擦学国家重点实验室，北京100084；2．精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室，北京100084；3．无锡微研精微机械技术有限公司，江苏无锡214072)摘要：为服务于微细电火花加工用微细工具电极在线制作，提出一种正交点电接触标准细棒的微细电极在线测量方法。将电极轴线与标准细棒轴线正交(垂直)布置．通过电极外径与标准细棒外径之间低压电感知的点接触方式．避免或减少标准

2、棒尺寸误差和安装误差的影响。提出采用自穿孔成形伺服反拷法和线电极磨削法组合工艺．并结合在线测量反馈方式，实现了钨材料微细电极较高效率的在线制作，尺寸可控精度可达±1．5m。关键词：微细电火花加工；工具电极制作；电接触在线测量；组合工艺中图分类号：TG661文献标识码：A文章编号：1009—279X(2013)06—0020—04OnlineMeasurementbyIntersecting-pointElectricContactandCombinedFabricationProcessforMicroTo

3、olElectrodesTongHao12,ZhangLong12,LiYong12,LiBaoquan(1．TsinghuaUniversity，Beijing100084，China；2．BeijingKeyLabofPrecision／Ultra-precisionManufacturingEquipmentsandControl，Beijing100084，China；3．WuxiMicroResearchPreciseMachineryTechnologyCo．，Ltd，Wuxi214072，Ch

4、ina)Abstract：Toassistonlinefabricationofmicroelectrodesusedinmicroelectricdischargemachining(EDM)，anonlinemeasurementmethodisproposedbyintroducingtheintersecting—pointelectriccontactbetweenthemicroelectrodeandastandardthin—rod．Inthemethod，underthecondition

5、oftheverticalarrangementoftheelectrodeaxisandthestandard-rodaxis，themodeoflow-voltagepointcontactondiameteroutersurfacescanavoidthedimensionalerrorofthestandardrodandreducethesettingerorofthestandardrod．Inaddition，afabricationprocesscombinedthemicroelectro

6、demachiningmethodbyself-drilledholesandthewireelectricdischargegrinding(WEDG)ispresentedforhigh—eficiencyfabricationofmicroelectrode．Byapplyingthecombinedprocesswithonlinemeasurementmethod，themicroelectrodesoftungstenmaterialcanbeachievedwithcontrollabledi

7、mensionalaccuracyof±1．5m．Keywords：microEDM；toolelectrodefabrication；electriccontactonlinemeasurement；combinedprocess微细电火花加工需利用微细工具电极进行放电蚀除工件材料。为避免二次装夹误差、降低安装操作难度，径向尺寸<100m的微细工具电极通常收稿日期：2013—09—30基金项目：国家自然科学基金资助项目(50905094)；摩擦学国家重采用在线制作方法。微细工具电极径向尺寸可控精点实验室自

8、主研究课题(SKLTl】C5)：精密超精密制造度将直接影响微结构电火花加工尺寸和形状精度。装备及控制北京市重点实验室开放课题(PMEC201202)第一作者简介：佟浩，男，1978年生．助理研究员。由于三维微型腔扫描加工或多个微孔加工中电极一20一设计·研究《电加工与模具)2013年第6期损耗积累。还要求微细电极整个长度上具有轴径一将电极轴线与标准细棒轴线正交(垂直)布置，致性精度。特别对于批量化应用．制作效率和