可植入眼压微传感器.pdf

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1、2010年第29卷第6期传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies)综述与评论、P可植入眼压微传感器朱正罕，刘景全，邱可可，杨春生(上海交通大学微纳科学技术研究院。微米／纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室。上海200240)摘要：对眼压进行长期、连续和实时的监测对于提高青光眼的诊治水平具有重要的意义。可植入眼压微传感器能够实现对眼压的长期连续监测。总结了国内外的可植入眼压微传感器技术；归纳了不同种类的可植入眼压微传感器的工作原理，并对不同的可植入眼压微传感器技术进行分类和比较；讨论了可植

2、入眼压微传感器的各技术模块。关键词：可植入眼压微传感器；青光眼；微机电系统中图分类号：TP332．3文献标识码：A文章编号：1000--9787(2010)06--0001-03ImplantableintraocularpressuremicrosensorZHUZheng—han，LIUJing—quan，QIUKe-ke，YANGChun—sheng(NationalKeyLaboratoryofNano／MicroFabricationTechnology，KeyLaboratoryforThinFilmandMicrofabricationofMi

3、nistryofEducation，InstituteofMicroandNanoscienceandTechnology，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China)Abstract：Implantableintraocularpressure(IOP)microsensoroferslong-term，continuous，andreal—timedetectionofIOP，helpingtoimprovethediagnosisandtreatmentlevelfortheglaucoma．Tech

4、nologiesofimplantableIOPmicrosensoraresummarized．Classificationandcomparisonofdiferenttechnologiesarepresented．DifferenttechnologicalmodulesofimplantableIOPsensorsarealsodiscussed．Keywords：implantableintraocularpressure(10P)microsensor；glaucoma；MEMS0引言外青光眼是由于病理性眼压升高导致特征性视神经损害和视野缺损的

5、一种疾病，是全球第2位的不可逆致盲性眼通信组件病。人眼的前房中充满“房水”，由睫状体产生后进入后房，经过其他一些组织结构最终回到血液循环，这个循环体中任何一个环节发生阻塞都会引起眼压的升高。眼压升高可能导致部分视觉神经组织的损害和视野的缺失。医学研究表明：早期诊断和治疗可以大大降低青光眼的致盲率。图1典型的植入眼压微传感器系统准确和及时的眼压检测对防治青光眼具有重要意义。植入Fig1AtypicalimplantablelOPmicrosensorsystem式眼压微传感器可以对眼压进行24h连续的监视，并可以的植入眼压微传感器。从传感器体内外之间的通信方式

6、来完整精确记录眼压的变化，这有助于揭示青光眼病情发展。分类，可以分为两大类，分别是无线通信和有线通信。其1植入眼压微传感器技术中，无线通信方式又分为基于电感耦合方式和其他无线通植入眼压微传感器一般由体外控制部分和被长期植入信方式。从植人体内的传感器进行分类，主要可以分为两到人眼内部的体内传感器部分构成，传感器感受眼压的变大类，一类是电容式压力传感器，一类是压阻式压力传感化，并将眼压的数据传到体外设备上，从而获得实时的眼器。图2是可植入眼压微传感器的具体分类方式。压。图1是一个典型的可植入眼压微传感器系统。1．1无源的可植入眼压微传感器技术迄今为止，国内外研究

7、人员已经研发出许多不同种类CollinsC在1967年最早提出一种无源的植入眼压微传收稿日期：2009—11-02基金项目：国家自然科学基金资助项目(60876082)；上海市科委科技计划资助项目(0852nm06600)；上海市教委曙光计划资助项目(08SG13)2传感器与微系统第29卷变化，另一种是电容和电感都随压力变化。整个传感器通过整体微制造技术用Parylene封装起来，一种低温多层聚合物金属表面微加工工艺实现整体微加工。并设计出一种锚点使得传感器植入时对眼睛的创伤最小化。上述无源的设计方案均要求外部线圈同植入体之间有足够强的电感耦合，即要求这两者

8、的间距必须足够小。另图2长期植入的眼压微传感器分类一