一种简便的转台运动误差标定方法研究.pdf

《一种简便的转台运动误差标定方法研究.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第1期组合机床与自动化加工技术No．12016年1月ModularMachineTool&AutomaticManufacturingTechniqueJan．2016文章编号：1001—2265(2016)01—0086—03DOI：10．13462／j．cnki．mmtamt．2016．o1．024一种简便的转台运动误差标定方法研究于振，刘书桂，张海涛(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072)摘要：针对转台的六项运动误差，设计了一种简便易行的检测方法。通过TESA测头的组合，

2、实现了转台沿、Y、三个方向的跳动误差以及绕x,y轴偏摆误差的精确检测，通过光电自准直仪与多面棱体的组合，实现了转台分度误差的高效高精度测量。结果表明：该方法简单、可靠、成本低。在多次测量的过程中，转台的分度误差测量精度可达到2”以内，转台跳动测量误差小于3／xm。同时，每个测量点位偏摆的测量误差基本上都控制在千分之一以内。关键词：光自准直仪；二十四面棱镜；TESA测头；误差标定中图分类号：TH161；TG65文献标识码：AACalibratiOilMethodofOneofTheMotiOilErr

3、orofTurntableBasedonLaserCollimatorYUZhen，LIUShu—gui，ZHANGHai-tao(StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnology&Instrument，TianjinUniversity，Tianjin30o072，China)Abstract：Inordertofacetheneedofmeasuringthesixmotionerrorofthetumtable，asimplemeasuremet

4、hodwasdesignedinthispaper．Realizingtheaccuratemeasurementofthefivemotionerorofturntable，suchasthebeatofX，Y，Zthreedirectionsandtheyawsof，Yaxis，combinedwiththeuseofTESAprobe，andrealizingtheaccuratemeasurementoftheindexingerorofthetumtablebycombininglaser

5、auto—collimatorandmulti-facetedprism．Resultshaveshownthatthismethodissimple，reliable，andlowcost．Intheprocessofrepeatedmeasurements，themeasurementaccuracyoftheindexingerroroftheturntableCanbereachedlessthan2secondsandthemeasurementerrorsoftheturntablebe

6、atwerelessthan3mi．crons．Atthesametime，themeasurementerorofeachmeasuringpointisgenerallycontrolledinlessthan1％．Keywords：lasercollimator；twenty-fourprim；TESAprobe；errorcalibration误差的方法，该方法通过将激光干涉仪和角度干涉镜、0引言角度反射镜结合使用，通过测量参考光束和干涉光束标定就是通过比较器件输出和参考输入确定出一的光程差

7、，最后算出回转台的运动误差。Khan和组参数，使传感器测量结果与参考输入一致。“转Chen提出一种利用球杆仪对转台运动误差进行分离台”是回转工作台的简称，在计量工作中又称为分度的思路，并进行了有益的尝试。Tsutsumi和Saito利台。随着数控技术的迅猛发展，机械加工精度等级用球杆仪对五轴联动机床的多项误差进行了分离。周高低已经成为衡量一个国家工业发展水平的重要标玉清等人提出一种旋转轴与平移轴联动误差的快志。作为数控机床的重要零部件——回转工作台的速测量方法。这些方法都能较好的标定出转台的运动误差

8、会直接复映到工件上，影响工件的加工误差J。误差。因此转台系统的运动精度是否满足系统的精度指标上述标定方法可以达到很高的精度，但都需要配(即转台的标定结果)并最终提高工件的加工精度，具备各种高精度仪器，成本较高，且都需要对各种仪器进有重要的现实意义。激光干涉仪是目前最常用的数控行精确安装。本文提出了一种基于光电自准直仪与多机床精度检验仪器，它在功能、灵敏度、稳定性、精面棱体组合以及TESA电感测头的组合的方法对转台度方面极具优势J。国内许多专家学者在转台误差标的分度误差