氯硅烷歧化制备硅烷工艺.pdf

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1、第43卷第7期工艺与设备化工设计通讯2017年7月TechnologyandEquipmentChemicalEngineeringDesignCommunications氯硅烷歧化制备硅烷工艺袁小建，张丽云（中国化学赛鼎宁波工程有限公司，浙江宁波315000）摘要：近年来随着我国时代快速发展与社会经济的繁荣，多晶硅生产领域也获得了空前发展。氯硅烷歧化制备硅烷工艺因为其生产成本偏低、投资小以及实际产生的能耗较少等优点，逐渐受到更多企业的重视和关注。该工艺与其他制备方法相比，在生产过程所获取硅烷的转化率更高，多数能够达到96%左右。硅烷最后甚至能够全部

2、转化成氢气以及高纯硅。因此研究了氯硅烷歧化制备硅烷工艺。关键词：氯硅烷；歧化制备；硅烷中图分类号：TQ264.1文献标志码：B文章编号：1003–6490（2017）07–0128–02PreparationofSilanefromDisproportionationofChlorosilaneYuanXiao-jian，ZhangLi-yunAbstract：Inrecentyears，withtherapiddevelopmentofourcountryandtheprosperityofsocialeconomy，polysiliconprod

3、uctionhasalsobeenanunprecedenteddevelopment，chlorosilanedisproportionationofsilaneprocessbecauseofitslowproductioncosts，smallinvestmentandtheactualproductionoflessenergyAdvantages，andgraduallybytheattentionofmoreenterprisesandattention.Comparedwithotherpreparationmethods，thecon

4、versionrateofsilaneobtainedintheproductionprocessishigher，andthemajoritycanreachabout96percent.Silanefinallycanevenbeconvertedintohydrogen（H2）andhighpuritysilicon.Let'stakeabrieflookatthedetailsof“ChlorosilaneDisproportionationPreparationofSilaneProcesses”.Keywords：chlorosilane

5、；disproportionationpreparation；silane太阳能作为今后极具潜力的可再生能源之一，在我国能体在催化剂的作用下进行气固相反应，反应产物为氢气、四源构成中将越来越显现其重要地位和作用。高级电子元件在氯化硅、三氯氢硅及少量二氯氢硅的混合物，经过除尘后，电子工业的作用也是不言而喻的。高质量的多晶硅则是这两与进料氢气、四氯化硅混合物换热、冷却、冷凝，收集未反者不可或缺的基本原料，而硅烷则是生产高质量多晶硅的原应的四氯化硅和反应生成的三氯氢硅和杂质，达到与氢气分料之一。我国的硅烷生产还刚刚起步，研究硅烷的生产技术，离的目的，氢气循

6、环使用。开发出经济适用的硅烷生产技术，是国家的需要、也是国民精馏部分是将得到的凝液采用精馏的方法，分出三氯氢经济发展的需要，同时也是世界多晶硅行业关注的课题，具硅供歧化反应用，分离得到的四氯化硅返回到硅粉气化部分。有重要的战略意义。同时在此处除掉杂质。1硅烷的性质及应用歧化部分是使三氯氢硅进行歧化反应得到目的产物硅烷，硅烷，也称单硅烷，是化学式为SiH4的一种化合物。它并将其精制得到最终产品高纯硅烷。反应得到的四氯化硅返的结构与甲烷类似，只是用硅取代了甲烷中的碳。在室温下，回到前面的硅粉气化部分。硅烷是一种易燃的气体，在空气中，无需外加火源，硅烷就该

7、工艺流程如图1所示：氯硅烷歧化制备硅烷工艺流程）可以自燃。但是有学者认为，硅烷本身是很稳定的，在自然所示。状态下，是以聚合物的状态存在的。在超过420℃的环境下，SiH2Cl2冶金硅SiCl4氢化料SiHCI3SiH2Cl2与SiHCl3SiH2Cl2再分配硅烷会分解成硅和氢气，因此硅烷可以被用来提纯硅。氯化分离分离提纯反应器SiCl4硅烷作为一种载运硅组分的气体源，已成为许多其他硅H2SiHClSiCl422SiH4SiH2Cl2源无法取代的重要特殊气体。单硅烷广泛用于微电子、光电SiHCl3SiHCl3SiHClSiH2Cl2SiH2Cl23Si

8、HCl3子工业，用于制造太阳能电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀再分配反应器SiH4、SiH2Cl2与层等领域。