基于专利信息可视化的IGZO发展态势研究.pdf

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1、2014~6sci洲⋯dTe罐。mR眦hdoi：10．3969／j．issn．1000—7695．2014．06．009基于专利信息可视化的IGZO发展态势研究陈慧琪，陈振标，刘敏榕(1．福州大学信息管理研究所，福建福州350108；2．福州大学图书馆，福建福州350108)摘要：以专利计量学的方法和相关理论为指导，以德温特创新索引数据库收录的有关铟镓锌氧化物(IGZO)的专利为数据源，借助可视化分析X-．具CitsSpaceII，对IGZO技术进行专利申请量、申请人地区、主题词共现、核心专利以及德温特手工代码共现可视化分析，以揭示该领域的发展趋势。研究发现，IGZO技术处于快速

2、增长阶段；申请地区较为集中；IGZO研究的热点领域为IGZOTFT整体结构的改进和IGZO薄膜的成膜工艺等。我国研究机构应采取产学研的策略，政府出台相应政策，从而促进IGZO技术及产业发展。关键词：铟镓锌氧化物；专利计量；可视化；发展态势中图分类号：G306文献标志码：A文章编号：1000—7695(2014)06—0038—06StudyonDevelopmentStatusofIGZOBasedonPatentVisualizationCHENHuiqi，CHENZhenbiao，LIUMinrong，(1．InformationManagementInstituteofFu

3、zhouUniversity，Fuzhou350108，China；2．LibraryofFuzhouUniversity，Fuzhou350108，China)Abstract：UsingpatentometricsmethodsandtheoriesforguidanceandtakingDerwentinnovationindexasthedatabase。thepaperchooseIGZOpatentdocumentstoanalyzethekeytechnologiesinthefield．ByusingCitespaceII，thepaperana—lyzesthe

4、patentapplications，applicantregion，topicsCO—occurrence，corepatentandmanualcodesCO—occurrence，inordertorevealthetrendofIGZOtechnologydevelopment．ThestudyfindsthattheIGZOisinarapidgrowthphase；theapplicationareasareconcentrated：thehottopicsofIGZOareIGZOTFrstructureimprovementandmaking—membranete

5、chniqueofIGZO．ThegovernmentshouldunveilcorrespondingpoliciestopromotethedevelopmentofIGZOtechnology．Keywords：IGZO；patentometrics；visualization；developmentstatus平板显示产业是电子信息领域的“核心支柱产专利是反映科学技术发展水平最新动态的情报业”之一。平板显示器目前向着大尺寸、高分辨的文献_3J。根据世界知识产权组织的统计，专利文献方向发展。薄膜晶体管(TFT)作为平板显示行业中包含了世界上95％的研发成果。专利作为测量技的

6、核心部件，其性能的好坏直接影响到平板产业的术创新的指标，被广泛地应用于技术发展趋势的研质量。现有的薄膜晶体管迁移率很难满足大尺寸的究领域。专利计量学作为一个相对独立的学科，逐液晶显示器，而高迁移率的金属氧化物薄膜晶体管渐成为众多学者的研究重点，如：FNarin等将专可以更好地满足。氧化物T丌(OxideT丌)，是指利计量学研究领域分为专利数量、专利引用关系和半导体沟道层采用金属氧化物制备的薄膜晶体管，国家表现等；通过对专利的计量分析可以洞察行业是目前薄膜晶体管液晶显示器(T兀、LCD)的研究技术的发展状况，辨认竞争对手及其技术活动的重热点之一，其中，金属氧化物IGZOTFT迁移率

7、高、点和实力并判断行业的竞争态势；YingL6使用专均一性好、透明、制作工艺简单，逐渐成为近几年利计量方法分析了3G通讯技术的发展状况。的研究热点。IGZO(IndiumGalliumZincOxide)目前IGZO技术的研究主要集中在基础和应用领为铟镓锌氧化物的缩写，是一种典型的透明非晶氧域，利用专利文献对IGZO技术进行计量分析的研究化物半导体材料。IGZO材料是用于新一代薄膜晶体并不多见。胡加佳对IGZO薄膜的制备及性能进管技术中的沟道层材料，也是目前显示领域最为看行了研究