基于Minitab软件的多晶硅生产过程质量分析.pdf

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1、第31卷2014年增刊上海航天AERoSPACESHANGHAI文章编号：1006一i630(2014)S1—0023—03基于Minitab软件的多晶硅生产过程质量分析董燕军(内蒙古神舟硅业有限责任公司，内蒙古呼和浩特010070)摘要：用Minitab软件统计分析软件对多晶硅生产过程质量进行了分析。采用控制图、直方图、能力分析和因果图等方法分析了精馏工序I、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ，尾气回收工序、还原工序2013年3～5月的检测数据，明确了精馏工序Ⅳ、尾气回收工序Ⅱ，以及还原工序的日常管理为影响质量能力的主要因素。采取相应措

2、施后多晶硅的品级率逐步提升。关键词：多晶硅；Minitab软件；能力评估；质量分析中图分类号：F406．3文献标志码：AQualityAnalysisofPolysiliconProductionBasedonMinitabSoftwareDONGYan—jun(ORISISiliconCoLtd，Huhehaote010070，InnerMengulia，China)Abstract：TheprocessqualityofpolusiliconwasstudiedbyMinitabsoftwareinthispa

3、per．ThedetectiondataofthedistillationprocessI，Ⅱ，Ⅲ，Ⅳoffinetrichlorosilance，andexhaustgasreclyingprocessaswellasreductionprocessfromApriltOMayin2013wereanalyzedbycontrolchart，histogram，abilityanalysisandreason—resultpicture．ThedistillationprocessIVoffinetrichlor

4、osilance，processlIofexhaustgasreclyingandroutincontrolofreductionprocesswereidentifiedasthemainfactorswhichaffectthequality．Theproductgraderateofpolusiliconhadbeenhigheraftertherelativemeasuresadopted．Keywords：Polysilicon；Minitabsoftware；Capabilityevaluation；Q

5、ualityanalysis0引言自从多晶硅告别暴利时代后，行业的利润空间被不断压缩，企业问从规模的竞争转变为成本和质量的竞争。虽然越来越多的多晶硅企业意识到质量的重要性，但质量管理水平较技术先进的国外企业还存在较大的差距。很多企业的质量管理就是单纯的检验，在产品制成后发现并剔除不合格品。这样导致的结果是不合格品被发现时，质量损失已经酿成，即便可以回收也会增加大量额外的返工成本，造成能源的浪费。因此，我国的多晶硅企业亟需进行一场质量革命，使质量管理从被动的事后把关转变为生产过程中的事前预防，使质量意识从检验部门延伸

6、到企业的整个运作系统，降低生产运作成本，提收稿日期：2014-0卜14；修回日期：2014—01-28作者简介：董燕军(1977一)，男，工艺总师，主要从事多晶硅生产工艺技术管理及工艺技术研究与开发。高整体经济效益。多晶硅生产过程中的各工序及工艺质量控制直接关系多晶硅最终的质量。多晶硅的生产过程是多晶硅质量形成中最重要的一环，主要包括三氯氢硅精馏、尾气回收及多晶硅还原工序。多晶硅的质量控制及其管理的目的是确保在必要的材料、技术及其管理要求的约束下进行多晶硅的生产，使其能发挥出应有的作用。Minitab软件是MINI

7、TAB公司开发的一款统计技术数据处理软件，目前已在全球获得了广泛应用。它包含丰富的统计数据信息，既可进行数据分析处理，又能进行图形分析对比，并可预测未来。其核心功能是进行数据分析和图形分析以及趋势预测。它的特点有：强大的数据处理功能；明显的图形处理优势；提供多问题解决工具；简单、直接、清晰和易懂等[1]。为降低多晶硅质量损失，提高质量管理水平，在现有制度和资源的基础上，引入六西格玛方法，本文用Minitab统计分析软件对多晶硅生产过上海航天AEROSPACESHANGHAI第31卷2014年增刊程质量进行了分析。1

8、Minitab软件应用1．1控制图分析精馏I工序根据过程输出质量特性的数据性质，控制图主要有计量控制图和计数控制图两类[2]。计量控制图中最常用的是X-R图，其中：均值X控制图主要用于观察正态分布均值的变化；极差R控制图用于观察正态分布的分散状况，即质量的波动。X-R控制图适于控制对象为长度、重量、强度、纯度、时间和生产量量值的场合。分析了2013年3～5月