线切割极品资料!!!.ppt

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1、切割原理硅块/ingot钢线/wire工作台/table浆料/slurryHCT线锯工作示意图浆料由碳化硅与切削液混合组成。碳化硅作用：利用其坚硬特性和锋利菱角将硅棒逐步截断。切割液的主要作用：1.悬浮特性使碳化硅具有良好的流动性；2.碳化硅颗粒能够在切割体系中均匀稳定的分散；3.在高速运动中使钢线以均匀平稳的切割力场作用于硅棒表面；4.及时带走切割热和破碎颗粒，保证硅片的表面质量。浆料作用SiC制造方法碳化硅又称金钢砂或耐火砂。分子式为SiC，纯碳化硅是无色透明的晶体。碳化硅晶体结构分为六方或菱面体的α-SiC和

2、立方体的β-SiC(称立方碳化硅)。α-SiC由于其晶体结构中碳和硅原子的堆垛序列不同而构成许多不同变体，已发现70余种。β-SiC于2100℃以上时转变为α-SiC。碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料在电阻炉内经2000度以上的高温冶炼而成。工业碳化硅因所含杂质的种类和含量不同，而呈浅黄、绿、蓝乃至黑色，透明度随其纯度不同而异。目前我国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，碳化硅微粉是由炼得的碳化硅块，经破碎、酸碱洗、磁选和筛分或水选而制成各种粒度的产品。粉体材

3、料粒度的检测可采用筛分法、沉降法、电阻法、激光法、电镜法等多种方法。每一种方法都有各自的特点，检测结果也可能会有差异。对于粒度较细或比重较小的颗粒，采用后三种方法的检测结果比较可靠。常用磨料粒度尺寸比较表粒度分布(微米)化学指标物理指标粒度号D3最大值粒度中值D50最小粒径D94SiC≥（%）Fe2O3≤(%)F•C≤(%)PH值堆积密度GC#800≤20.014.0±1.0≥9.099.000.200.26--81.18GC#1000≤18.311.5±1.0≥7.098.500.200.26--81.15GC#

4、1200≤17.59.5±0.8≥5.598.500.200.26--81.13GC#1500≤14.58.0±0.6≥4.598.000.200.26--81.12GC#1800≤13.57.0±0.6≥4.298.000.200.26--81.05GC#2000≤13.06.7±0.6≥4.098.000.200.26--81.00物理机械性能碳化硅理论密度是3.18克/cm3，比重为3.20～3.25，各种碳化硅晶形的颗粒密度十分接近，一般认为是3.20g/mm³，其碳化硅磨料的自然堆积密度在1.2--1.6

5、g/mm³之间，其高低取决于粒度号、粒度组成和颗粒形状。其维氏显微硬度为2840～3320kg/mm2。莫氏硬度仅次于金刚石，在9.2-9.8之间（硅的莫氏硬度为6.5）。磨料中高于刚玉而仅次于金刚石、立方氮化硼和碳化硼。由于它具有高硬度、高耐磨性、高耐腐蚀性及较高的高温强度等特点，被用于各种耐磨、耐蚀和耐高温的机械零部件，是一种新型的工程陶瓷新材料。1、高纯度、大结晶碳化硅原材料，保证了碳化硅切割微粉优良切割性能和稳定物理状态。2、粒度形状为等积而具刃锋，保证了碳化硅微粉作为切割刃料均衡自锐性，从而保证被切割材料

6、TTV最小化。3、粒度分布集中并且均匀。4、有高热震稳定性和荷重软化温度，这确保了在荷重切割时小线膨胀系数，从而保证切割稳定；并且能够和切割机有很好适配性。5、表面经过特殊处理，微粉具备大比表面积和清洁外表，与聚乙二醇等切削液有很好适配性。碳化硅质量标准切削液的作用水性切削液的主要成分为聚乙二醇。悬浮：使磨料均匀分散，保证钢线的带砂能力。其粘度随温度上升而下降。冷却：性能与流量、流速有关，及时带走大量的切削热。清洗：易于清洗，不易留污。切削液性质聚乙二醇（PEG）：也称聚乙二醇醚,是由环氧乙烷与水或乙二醇为原料通过

7、逐步加成反应而生成，其原材料主要来源于石油制品。物理性质：1、当PEG的分子量200-700时为白色或透明的粘稠液体，1000-2000时为蜡质半硬固体,3000-20000时为坚硬的蜡状固体。聚乙二醇(PEG)为低毒无刺激性聚合物。用于硅片切割过程中的切割液的聚乙二醇（PEG）分子量通常为300-400，这一级别的PEG具有适宜的粘度指标，既有良好的流动性，又对碳化硅微粉具有良好的分散稳定性，带砂能力强。2、相对密度:液体1.127-1.128g/cm2。固体1.17-1.215g/cm2；乙二醇应用：3、溶点：

8、固体60℃以下，液体20℃以下；4、粘度：4.3-10.5x10-6m2/s(98.9℃)；5、闪点为179-252℃（液体），221-228℃（固体）。6、聚乙二醇（PEG）具有很强的吸水性，在常温条件下可从空气中吸收水分，液体可与水任意比例混溶。注意：防潮，要求碳化硅烘干。奥克切削液产品外观（25℃）无色透明液体色号（铂-钴）≤50粘度（mm2/s,40