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时间:2020-04-02
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1、第5章压电式传感器第一节压电效应1第二节压电材料第三节压电式传感器的测量电路3第四节压电式传感器应用42概述压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应,是典型的有源传感器。当某些材料受力作用而变形时,其表面会有电荷产生,从而实现非电量测量。压电式传感器具有体积小,重量轻,工作频带宽、灵敏度高、工作可靠、测量范围广等特点,因此在各种动态力、机械冲击与振动的测量,以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。压电效应某些电介质,当沿着一定方向对其施力而使它变形时,其内部就产生极化现象
2、,同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷,当外力去掉后,其又重新恢复到不带电状态,这种现象称压电效应。当作用力方向改变时,电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转为电能的现象,称为“正压电效应”。相反,当在电介质极化方向施加电场,这些电介质也会产生变形,这种现象称为“逆压电效应”(电致伸缩效应)。具有压电效应的材料称为压电材料,压电材料能实现机—电能量的相互转换,如图5-1所示。图5-1压电效应可逆性压电材料压电材料的主要特性参数有:(1)压电常数:压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数,它
3、直接关系到压电输出的灵敏度。(2)弹性常数:压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。(3)介电常数:对于一定形状、尺寸的压电元件,其固有电容与介电常数有关;而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。(4)机械耦合系数:在压电效应中,其值等于转换输出能量(如电能)与输入的能量(如机械能)之比的平方根;它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。(5)电阻压电材料的绝缘电阻:将减少电荷泄漏,从而改善压电传感器的低频特性。(6)居里点:压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。压
4、电材料压电材料压电材料可以分为两大类压电晶体——晶体压电陶瓷——极化处理的多晶体石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料都具有较大的压电常数,机械性能良好,时间稳定性好,温度稳定性好等特性,是较理想的压电材料。压电材料一、石英晶体石英晶体化学式为SiO2(二氧化硅),是单晶体结构它的转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃(压电系数不随温度而改变)、工作湿度高达100%、稳定性好。压电材料(a)(b)(c)图5-2石英晶体天然结构的石英晶
5、体外形。它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的压电材料天然结构定义x:两平行柱面内夹角等分线,垂直此轴压电效应最强。称为电轴。y:垂直于平行柱面,在电场作用下变形最大,称为机械轴。z:无压电效应,中心轴,也称光轴。通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”,而把沿机械y方向的作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。而沿光轴z方向受力时不产生压电效应。压电材料若从晶体上沿y方向切下一块如图5-2(c)所示晶片,当在电轴方向施加作用力时,在与电轴x垂直的平面上将
6、产生电荷Qx,其大小为式中:——x方向受力的压电系数;——作用力。若在同一切片上,沿机械轴y方向施加作用力,则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷Qy,其大小为:压电材料式中:——y轴方向受力的压电系数,a、b——晶体切片长度和厚度。电荷Qx和Qy的符号由所受力的性质决定。若在同一切片上,沿机械轴y方向施加作用力,则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷Qy,其大小为:未受外力作用时,石英晶体正、负离子正好分布在正六边形的顶角上,形成三个互成120°夹角,电偶极矩为0,所以晶体表面不产生电荷,即呈中性。当石
7、英晶体受到沿x轴方向的压力作用时,晶体沿x方向将产生压缩变形,正负电荷重心不再重合,在x轴的正方向出现正电荷,电偶极矩在y方向上的分量仍为零,不出现电荷.当晶体受到沿y轴方向的压力作用时,在x轴上出现电荷,它的极性为x轴正向为负电荷。在y轴方向上不出现电荷。如果沿z轴方向施加作用力,因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同,所以正负电荷重心保持重合,电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力,晶体不会产生压电效应。压电材料二、压电陶瓷压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。在无外电场作用
8、时,电畴在晶体中杂乱分布,它们的极化效应被相互抵消,压电陶瓷内极化强度为零,因此原始的压电陶瓷呈中性,不具有压电性质。在陶瓷上施加外电场时,电畴的极化方向发生转动,从而使材料得到极化。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度,即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时,外电场去掉后,电畴的极化方向基本不变,即剩余极化强度很大,这时的材料才具有压电特性。如图5-4。压电材料当陶瓷材料受到外力作用时,电畴的界限发生移动,电畴发生偏转,从而引起剩余极化强度的变化,因而在垂直于极化方向
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