材料近代研究方法 周玉版第二章.ppt

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1、第二章透射电子显微镜§2－1透射电镜成像原理1、透射电镜成像原理光源中间象物镜试样聚光镜目镜毛玻璃电子抢聚光镜样品物镜第一次像投影镜观察屏（a）高放大像（b）衍射花样样品物镜衍射花样第一次像中间镜第二次像投影镜选区光阑物镜光阑照明系统示意图阴极（接负高压）控制极（比阴极负100~1000伏）阳极电子束聚光镜试样§2－2透射电镜结构1、透射电镜三部分组成A光学成像系统整个电子光学部分完全置于镜筒之内，自上而下顺序排列着电子枪、聚光镜、样品室、物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、照相机构等装置。根据这些装置的功能不同又可将电子光学部分分为照明系

2、统、样品室、成像系统及图像观察和记录系统。B真空系统电子显微镜镜筒必须具有高真空，若镜筒中存在气体，会产生气体电离和放电现象；电子枪灯丝受氧化而烧断；高速电子与气体分子碰撞而散射,降低成像衬度及污染样品;C电气系统主要有灯丝电源和高压电源，使电子枪产生稳定的高照明电子束；各个磁透镜的稳压稳流电源；电气控制电路。7日本日立公司H－700电子显微镜，配有双倾台，并带有7010扫描附件和EDAX9100能谱。分辨率：0.34nm加速电压：75KV－200KV放大倍数：25万倍能谱仪：EDAX－9100扫描附件：S70108CM200-FEG场发射

3、枪电镜JEM-2010透射电镜加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率1.94Å加速电压20KV、40KV、80KV、160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率1.4Å点分辨率2.4Å最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度α=±20度β=±25度9JEM-2010透射电镜加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率1.94ÅEM420透射电子显微镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV晶格分辨率2.04Å点分辨率3.4Å最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度β=±30度10Ph

4、ilipsCM12透射电镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KVLaB6或W灯丝晶格分辨率2.04Å点分辨率3.4Å最小电子束直径约2nm；倾转角度α=±20度β=±25度CEISS902电镜加速电压50KV、80KVW灯丝顶插式样品台能量分辨率1.5ev倾转角度α=±60度       转动400011JEM-2010透射电镜加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率1.94ÅEM420透射电子显微镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV晶格分辨率2.04Å点分辨

5、率3.4Å最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度β=±30度§2－3透射电镜技术指标1、点分辨率定义：两粒子之间的最小间隙。方法：Au真空蒸发镀膜。2、晶格分辨率定义：能分清两晶面的最小间距。方法：利用定向单晶薄膜做标样，利用晶格衍衬像测定。3、放大倍数定义：像平面与物平面距离之比。方法：利用光栅测定。