材料分析方法 第3版 周玉 第9章

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1、第二篇材料电子显微分析第八章电子光学基础第九章透射电子显微镜第十章电子衍射第十一章晶体薄膜衍衬成像分析第十二章高分辨透射电子显微术第十三章扫描电子显微镜第十四章电子背散射衍射分析技术第十五章电子探针显微分析第十六章其他显微结构分析方法1第九章透射电子显微镜本章主要内容第一节透射电子显微镜的结构与成像原理第二节主要部件的结构与工作原理第三节透射电镜分辨率和放大倍数的测定2透射电子显微镜的基本组成：电子光学系统、电源与控制系统和真空系统。电子光学系统通常称为镜筒，其光路原理与透射式光学显微镜相似，如图9-1所示电子光学系统的组成：照明系统成像系

2、统观察记录系统1-照明源2-阳极3-光阑4-聚光镜5-样品6-物镜7-物镜光阑8-选区光阑9-中间镜10-投影镜11-荧光屏或底片图9-1显微镜光学和光路图第一节透射电子显微镜的结构与成像原理透射电镜透射光镜3一、照明系统(一)电子枪电子枪有热发射和场发射2种，热发射电子枪由阴极、栅极和阳极组成，见图9-2。电子枪的负高压加在栅极上，阴极和栅极间有数百伏电位差而构成自偏压回路栅极可控制阴极发射电子的有效区域，自偏压回路的作用是稳定和调节束流场发射枪性能优异，具有束斑尺寸小、亮度高、能量分散度小等特点图9-2电子枪a)自偏压回路b)等电位面第

3、一节透射电子显微镜的结构与成像原理4一、照明系统(一)聚光镜高性能透射电镜采用双聚光镜系统，见图9-3。第一聚光镜是强励磁透镜，作用是缩小或调节束斑尺寸，将电子枪交叉斑减小10~50倍；第二聚光镜是弱励磁透镜，用以调节照明强度聚光镜的作用是以最小的损失，减小和调节束斑尺寸、调节照明强度和照明孔径半角图9-3双聚光镜原理图第一节透射电子显微镜的结构与成像原理5二、成像系统(一)物镜物镜是用来形成第一幅图像的透镜，所以透射电镜分辨率的高低主要取决于物镜，物镜是最核心的部件物镜是一个强励磁、短焦距的透镜(f=1~3mm)，高质量物镜的分辨率达0.

4、1nm左右，放大倍数一般为100~300倍入射电子束穿过样品经物镜聚焦成像，在物镜背焦面上形成衍射花样，在像平面上形成显微图像物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度，极靴内孔和上下极靴之间的距离越小，物镜的分辨率就越高第一节透射电子显微镜的结构与成像原理6二、成像系统(二)中间镜中间镜是弱励磁、长焦距的变倍率透镜作用之一是利用其可变倍率控制电镜的总放大倍数二是用以实现透射电镜成像操作和衍射操作的转换若将中间镜物平面与物镜像平面重合，则在荧光屏上获得一幅图像，称成像操作；若将其物平面与物镜背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，称衍

5、射操作，见图9-4图9-4成像系统光路第一节透射电子显微镜的结构与成像原理成像操作衍射操作中间镜样品荧光屏物镜物镜像平面物镜背焦面7二、成像系统(三)投影镜投影镜是短焦距的强励磁透镜成像电子进入投影镜的孔径角很小(约10-5rad)，因此其景深和焦长都非常大。投影镜景深大和焦长大的特点允许其物平面和像平面的位置在一定范围内移动，这有利于总放大倍数的调节，且方便观察和记录投影镜的作用是将中间镜的像进一步放大，并投射到荧光屏或照相底上以进行观察或记录第一节透射电子显微镜的结构与成像原理8二、成像系统透射电镜外观参见图9-5；透射电镜镜筒结构和真

6、空系统参见图9-6。高性能透射电镜多采用5级(或5级以上)放大成像第一节透射电子显微镜的结构与成像原理图9-5CM300透射电镜外观图图9-6JEM-2010F透射电镜a)镜筒剖面图b)真空系统9三、观察记录系统早期透射电镜观察记录系统由荧光屏和照相机构组成观察采用在暗室条件下人眼较敏感的、发绿光的荧光物质涂制的荧光板采用对电子束曝光敏感、颗粒度很小的电子感光底片记录，底片曝光时间采用自动、手动设置或计时等三种方式近期的透射电镜多数均配备了CCD成像系统，可以将图像输入到计算机的显示器上用于观察；图像可采用多种文件格式进行存储和输出。图像观

7、察和记录非常方便第一节透射电子显微镜的结构与成像原理10一、样品平移与倾斜装置(样品台)图9-7是用于支撑粉末样品的支承膜及铜网。对于晶体样品，样品台应具有三个方向的平移及至少绕一个轴的倾斜，以便实现观察点的选择和晶体取向调整透射电镜通常配备精度很高的侧插式样品平移和倾斜装置，称双倾台(见图9-8)。沿相互垂直的OX和OY方向的平移值为1mm；绕OX轴和OY轴可倾转40左右图9-8侧插式样品倾斜装置第二节主要部件的结构与工作原理图9-7支撑粉末样品的铜网a)方孔b)圆孔11二、电子束平移和倾斜装置如图9-9，利用电磁偏转器可实现电子束

8、平移和倾斜。其原理是利用上、下两个偏转线圈联动若上下偏转线圈使电子束偏转角度相等但方向相反，则可使电子束平移若上线圈使电子束偏角，下线圈使电子束向相反方向偏转(+)角，则