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时间:2020-03-22
《基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿方法.pdf》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、兰』鲨生⋯⋯一~~一基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿方法Posl¨¨11Accurac)、IcaKIIri“gandErrorCompensationMethod0f、(、lachillcIooIBascdonLascrInter睡romcter海耻火协{并眦嗽目}究析王茔孙程成钱肆王玮郑鸵[摘要】什jtR『FA8fl数控札,置定位精度大幅度下降的H题,个绍T利用英国雷尼绍lRENJsIIAwlMLl0激光干一十性If镬机床的定位精虚和重复定位精虚进行精度栓剥和误差补偿的i法.并对谥茬补偿前后的捡驯数据j兰行Tp析结震表明.通过特应
2、捡刹和:*差补偿.RIF^80机康的各项精庄指标已达到i作娶求关键词:激光干涉仪数控机床精度误差补偿I^BsTR^(TIA¨11cd¨【meshamdcclmeoflhop。HIuo㈨nImc).th洲畔rmlcⅢmclh{Ⅲ“usJngM¨(JI.ascrlnlerkrlImetef【omcasurcIhcmachmeacm⋯fpc'sltIonlsIn¨‘,ducedFunhcnllort£hrI)u2htheanaJysmof【乩mca㈣dalaltIsd㈣nstmtcdnlm【keⅣo⋯mDen—saIlon“lcaslbleKevwor
3、d$:LasPrjnlerhromeIerNC㈣hineIoolAccuracvE㈨㈣Densation陆菥使JI
4、年限的增长,数控加I叫,心的精度将不可避免地m脱水l浏程度的下降数牲机床的加I。精度由wn‘J『:仆之问的相对佗摊决定.接影响Ⅲ隶很多.而机床的曲态珙粒屉噩;哺肌
5、1.精厦I}cJ主世l闰索,提高精度丰蛆响2种建径.一址蚀忭”方法即挺高机睐爿;件的加卜城眦精度.此方法小仪受到刀¨l’虮睐精度等级的捌约.1^1H随着D盯]待埏的挺商.加l:成本呈指数级数增加.嫂益小高;.是“软件”的片法.泼种疗法通过他川激光十涉仪采壤数控机床的定ft
6、特度.冉利j材数控饥眯的uI缩群、智能性对fJ【眯lM正进什补“;从
7、1if遮到提高饥眯精度的敏求采Ⅲ这种精度抟测加误差补偿的^口:尤衙计数控机床硬什进fr艘造艇nf鞍大幅度地摊尚毂控"L眯的加r衔度1MLl0激光干涉仪原理,jHEiH川⋯m光l。涉他址种髓削线性误差的-:I竹懂怔群HM唯离nnl刊±l⋯PM(睢40I)删;d范
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9、=Ij、r靠摊础}:辄¨.他选舢¨’i划}I}J生虚他6c)nl“Ⅲ¨廿融#I岛r州MJIlJm’他拦悱外⋯n:i坨90航口割盎挂术·20lo邻第2I删绍凇圯r涉仪鞋备向曲线性‘《艘补偿能JJ.n』疗便丰盘剥Ⅲ机J术的
10、定化枇度如罔l所圻激光干涉仪利Ⅲ光的十涉原理阳多泮勒效}≈产生颧蔗的躁理来进行位置榆删2求振幅相同,频半分别为』和‘的左打劂偏振光由凇光器l发m.经iH片之后尘为振动方向垂在的线偏振光分光器3将一酃分光求J互射.始检偏器4形成频半分圳为^‘的目1女*十涉H%&F目1Ele—bOfL髂erlnIe^erOmeler信叶,向接收器5接收为参考信号:另一郫分光求通过分光器3进人响振丹光器6.兑‘”平行l-分光I☆I的频率为上的线嫡振光完全通过分光器6.到选”I动臣射镜8从反射镜7和H发射州米的2束止到嫡振抒光器6的分光碰汇合,_f经转向棱镜9、偏振器l
11、0.m接收器lJ接收为洲城fi号.铡j;【}信号与垂母{i母的芷馈即为多昔袖频率謦△fl
12、数器在时间,内汁取劈!率为△,的咏冲敏Ⅳ相’’r往,区加』内对,B!分.即N=kAJ☆.山干△,:2f出)^析⋯u^n,=以.听以Ⅳ=f△柚f=(2/.¨rdL=2L,,I.故洲ln距离£=f加)Ⅳ』℃-h~为累计脉冲数:一为激光池K:c由j匕建测;lt『lt系统的市Jr0如阁2所":.澈把}t涉镜披酋n:川l()激光头御线性反射镜之间的比路l:从川l(1爱目2m*f*&《‰F‘92Sy㈣fLaserInt日帕删erm的光束n-线性F涉镜处什裂为2m#1_}
13、二光束.一束光柬从附加在线性l二涉髓I.的眨驸镜反射I口激光*、而"一求光寐砭经由另一个线性反射镜反射叫激光★这2求厦甜光线杠f。涉镜山i[=合山激光头山幢渡器监控遮2求把束的干涉情况。。。。2机床线性轴的误差算法捌家标准㈦⋯1742l2—2000规往】,越过删捕机眯nq单蚀轴线束硷翰和rr定数{孛机床的定位犄幢和苇塑芷位枯度的汀法上要指切:乜j舌轴线的定f^精度』轴线的舌复,t位精度R轴线的反向置仉口,甲均化置偏差Mjf巾.“重复定位精度月和反向嚣f
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15、【8对加l精度的影响最斯明社机床的重复往位耗鹰是指巫复定俺时芈标轴的蛮际位残和坪魍值j芏的符
16、台雉噬.靖复位臀的不艇确会导数T州的h三·j雌差州重复定位精度“的岛低在张大拌度I二取决于滚球牲杠舯螺距累机误差和位拦榆删系统
17、1勺误差
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