真空退火炉操作规程.doc

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1、真空退火炉操作规程 一、开炉前准备 1．将物料放进炉内，并关好炉门。 2．检查各部电路线头是否有松脱现象，若有，先修复紧固。 3．打开气动三联件前的压缩空气总阀。 4．开启水分配器前的供水总阀，并适当调整各分阀，保证各部回水管均有出水，同时检查接头处是否有漏水现象，若有应先处理好。 二、开炉及停炉 1．合上电控拒上的总断路器及柜内各分断器器。 2．按下“仪表电源”和“PLC电源”按钮，将“自动/手动”转换开头调到“自动”档。 3．将触摸屏画面切换到“操作状态”，按“操作模式”，选择“手动”，再按“

2、返回”，回到“操作状态”画面。 4．按“滑阀泵”、“确认”，滑阀泵启动，开始时管道抽真空，1-2分钟后，按“真空阀”、“确认”，真空阀开，连能管首和炉体。 5．关注真空测量仪上的真空度变化情况，当面板上的“J1 ”指示灯亮后，按“罗茨泵”、“确认”，启动罗茨泵。 6．当真空仪面板上的“J2”指示灯亮后，表示已达到打开预抽阀的真空度，按“预抽阀”、“确认”，预抽阀打开，随后按“扩散泵”、“确认”，扩散泵开始加热，记下开始加热的时间。 7．根据工艺要求，在退控仪上设定好升温曲线。 8．当扩散泵加热时间

3、达到1.5小时，且真空仪面板上的“J4 ”指示灯亮后，按“真空阀”、“确认”，关闭真空阀，再按“扩散泵阀”、“确认”。扩散泵阀开启后，对炉内抽取高真空。 9．当真空仪面板上的“J3”指示灯亮后，按“加热”、“确认”，主回路得电，操作退控仪，炉体将按设定好的升温曲线开始升温。 10．升温结束后，进入冷却阶段，是否采用快冷依工艺而定，快冷程度如下： ⑴  按工艺要求调整充气压力表的上、下限，调整风机控制压力表的上、下限，在无纸记录仪上调好风机启动温度。 ⑵  按步骤关闭各真空泵、阀。扩散泵阀→扩散泵→

4、预抽阀→真空阀→罗茨泵→滑阀泵 ⑶  按“充气阀”、“确定”，充气阀打开，向炉内充入高纯的N2 或Ar (纯度≥99.999%)当炉内压力接近充气压力上限时，关“充气阀”，打开“微充阀”，直到充气上限为止。 ⑷  当达到设定的风机启动温度后，按“风机”、“确定”风机启动，炉温快速冷却。 ⑸  若热交换器及风机出水温度较高，应适应调大其供水阀，以利缩短冷却时间。 ⑹  当炉温达到100℃以下，关闭风机，打开扩散泵上部的手动阀，排出炉内气氛，直至炉压与大气压平衡，方可打开炉门，取出产品。11.在自然冷

5、却方式下，当升温结束，温控仪设定的曲线运行完毕后，关闭扩散泵阀→扩散泵，打开真空阀，但预抽阀不关。 12．滑阀泵及罗茨泵运转，直到炉温100℃以下，按下述步骤关闭真空泵、阀。预抽阀 →真空阀，→罗茨泵→滑阀泵 13．打开扩散泵上部的手动阀，使大气压进入炉内，直到炉内与大气压达到平衡，打开炉门，取出产品。 三、注意事项 1．真空仪上的参数均已调好，严禁随意改动，设定。 2．操作过程中，应随时关注电流、电压、水温等变化情况，若有异常应及时处理或报告。 3．电气故障严禁私自处理，应请电工排除。 4．若触

6、摸屏出现故障，可将“手动/自动”转换开关打到“手动”档，从头进行抽真空、升温等操作，各真空泵、阀及温控仪操作步骤与“自动”相同，但手动操作的操作机构由触摸屏变为按钮。 5．当选择触摸屏控制时，在“操作模式”的选择中，不宜选择“自动”，因“自动”需所有条件均满足程序要求，稍不小心便会造成误操作或无法运行程序。6．真空仪、温控仪等详细操作方法请认真阅读相应的说明书。