Channel5 EBSD操作简要流程Flamenco.pdf

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1、Channel5EBSD操作简要流程注：本程序仅是Flamenco的基本过程，详细参数设置请参阅相关说明书一．开始工作1.打开EBSD控制器（NordlysControlBox）2.将样品放入SEM样品室3.设置合理的加速电压、电流、倾斜校正（TiltCorrection）等条件；选择所要分析的区域4.通过控制器，将EBSD探头伸入样品室。打开SEM的CCD相机,观察探头位置。5.打开Flamenco软件，双击图标后，选择Profile，选择FullINCAIntegration…….选项，点击OK(Simulation选项只用作脱机处理或演示)6.在Image模式中

2、采集图像（SE或FSE）二．标定设置1.使用Setup模块2.先确认Softwareenhancement没有被选中，选择合理的Binning，Gain，Timeperframe等值3.采集本底，通常使用SEM低放大倍数，快扫描模式，使用AcquireNewBackground按钮4.导入合适的校准数据Calibration->LoadCalibration…..，校准数据通常保存于C:CHANNEL5Calibration****.5.选择正确的相，使用ViewMatchUnits图标；或是从菜单View->MatchUnits6.使用点模式移动电子束Posi

3、tionBeam，采集花样SnapEBSP，检测菊池带DetectBands，标定IndexEBSP。7.检查标定是否正确（如有较大误差，检查WD是否与校准文件相符，相选定是否正确）8.优化校准参数，使用图标，或由Calibration->ProjectionParameters进入如果进行优化，在”检测菊池带”(DetectBands)中应检查自动选择的带，如有必要，用手动添加。9.在不同的位置检查标定的情况，如有必要，重复进行Refine过程。以下即可以进行面扫描1三．AutoMatic采集设置1.选择AutoMatic模式2.在JobList窗口，选择NewJo

4、b图标3．定义采集区域和步长4．检查采集的参数，如BandDetection，MatchUnits等5．检查SEM加速电压,放大倍数等参数6．在JobList窗口，选择AddJobtoList按钮，所定义的即进入列表。如有需要可加入多个任务。7．点击Run按钮，开始采集。如没有其他操作，最小化Flamenco窗口。2