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时间:2020-03-14
《Channel5 EBSD操作简要流程Flamenco.pdf》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、Channel5EBSD操作简要流程注:本程序仅是Flamenco的基本过程,详细参数设置请参阅相关说明书一.开始工作1.打开EBSD控制器(NordlysControlBox)2.将样品放入SEM样品室3.设置合理的加速电压、电流、倾斜校正(TiltCorrection)等条件;选择所要分析的区域4.通过控制器,将EBSD探头伸入样品室。打开SEM的CCD相机,观察探头位置。5.打开Flamenco软件,双击图标后,选择Profile,选择FullINCAIntegration…….选项,点击OK(Simulation选项只用作脱机处理或演示)6.在Image模式中
2、采集图像(SE或FSE)二.标定设置1.使用Setup模块2.先确认Softwareenhancement没有被选中,选择合理的Binning,Gain,Timeperframe等值3.采集本底,通常使用SEM低放大倍数,快扫描模式,使用AcquireNewBackground按钮4.导入合适的校准数据Calibration->LoadCalibration…..,校准数据通常保存于C:CHANNEL5Calibration****.5.选择正确的相,使用ViewMatchUnits图标;或是从菜单View->MatchUnits6.使用点模式移动电子束Posi
3、tionBeam,采集花样SnapEBSP,检测菊池带DetectBands,标定IndexEBSP。7.检查标定是否正确(如有较大误差,检查WD是否与校准文件相符,相选定是否正确)8.优化校准参数,使用图标,或由Calibration->ProjectionParameters进入如果进行优化,在”检测菊池带”(DetectBands)中应检查自动选择的带,如有必要,用手动添加。9.在不同的位置检查标定的情况,如有必要,重复进行Refine过程。以下即可以进行面扫描1三.AutoMatic采集设置1.选择AutoMatic模式2.在JobList窗口,选择NewJo
4、b图标3.定义采集区域和步长4.检查采集的参数,如BandDetection,MatchUnits等5.检查SEM加速电压,放大倍数等参数6.在JobList窗口,选择AddJobtoList按钮,所定义的即进入列表。如有需要可加入多个任务。7.点击Run按钮,开始采集。如没有其他操作,最小化Flamenco窗口。2
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