S4800扫描电镜(SEM)操作手册.ppt

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1、HitachiS-4800型扫描电镜简易操作指南国家纳米科学中心纳米检测实验室注意！本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内容，不能代替培训。有意自己操作扫描电镜的用户请到现场参加培训。为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度，文件内容难于面面俱到。欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！S－4800扫描电镜外观S－4800扫描电镜剖面图S-4800主要技术参数二次电子成像分辨率1.0nm@15KV放大倍数20～800000加速电压0.1～30kV样品台三轴马达台样品最大尺寸100mm扫描电镜使用时的安全注意事项扫描电镜及其附属设备中有高压电、低温、高温、高

2、压气流等危险因素，因此不正确的使用有可能造成人身伤亡。请您正确操作仪器，不要打开仪器的面板或试图接触培训过程中未允许您操作的部分，即使您对自己的操作很有信心。未获得授权的用户请勿操作电镜。请勿用扫描电镜观察磁性样品，磁性样品有可能给电镜造成严重伤害。如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况，请垂询技术员彭开武/郭延军（Tel:82545516）。S－4800扫描电镜的基本操作过程启动操作程序PC－SEM观察样品加载样品加高压及条件设定调节电子光学系统记录图像SEM数据管理器图像处理取出样品刻录光盘结束操作1、启动操作程序PC－SEM打开显示器Displ

3、ay的开关；系统启动，要求输入系统的用户名和密码；核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－SEM自动启动，要求输入程序的用户名和密码；核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。2、加载样品1）将样品装在样品托（specimenstub)上（1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托（15mm,1inch,1.5inch,2inch）；（2）用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在样品托上。注意：(a)对于不导电或导电性不好的样品，需要进行喷金等的导电处理；(b)当在较高倍率下观察时（大于等于10万倍），建议使用银导电胶，可以防止样品漂移；用了导电胶的样品需要用台灯烤干或用吹

4、风机吹干后再插入样品室。2、加载样品2）将样品托装在样品架（specimenholder）上（1）把样品托安装在样品架的顶端；（2）调整样品的高度，使得样品的上表面与样品高度计的下面尽量相平。注意：(a)取放样品操作时必须带手套以减少污染；(b)必须使用样品高度计调节样品的高度，使WD与Z尽量保持一致，这样不仅操作性好，而且有利于保护仪器和样品。(c)注意调节螺杆（adjustingscrew）不要从样品架底座下面伸出来，这样会造成机械故障。2、加载样品3）将样品架插入样品室插入样品之前需要确认：(a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lo

5、ck开关的灯不亮）(b)加速电压处于OFF状态（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气；（2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打开；（3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮处于UNLOCK状态；（4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品插入交换棒中；2、加载样品（5）按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态，然后将交换棒完全拉出；（6）关闭交换室，按EVAC键，交换室抽真空；（7）峰鸣器响后，按OPEN键，打开样品室与交换室之间的门（气阀）；（8）峰鸣器响后，一边探视里面，一边将样品架充分地插入样品台的槽中（交换棒推到底）；（9）

6、按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置，卸下样品，然后将交换棒完全拉出；（10）按CLOSE键，气阀关闭。3、加高压及条件设定1）设定样品尺寸点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点击SET键，设定样品的尺寸。2）设定加速高压和发射电流点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和发射电流。发射电流一般设为10A3）加高压点击ON键，出现确认样品尺寸对话框，确定后，开始自动加电压3、加高压及条件设定4）条件设定（1）选择图形信号及探测器类型：SE,BSE（2）设定工作距离WD（3）设定高度ZZ与WD密切相关，它们设定的先后顺序并不重要，最终

7、目的是在Z与WD的允许范围内使图像聚焦清楚。为安全起见，本机高度Z应在3mm以上（范围3－30）。4、调节电子光学系统加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴或对中(Alignment)。（1）点击ALIGN键，出现合轴画面（2）主要的合轴有：a.电子束合轴：BeamAlign目标：把光圈调到中心b.物镜光栏合轴：ApertureAlign目标：把图像晃动量调到最小c.象差校正合轴：StigmaAlignX，Y目标：把图像晃动量调到最小（3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT

8、X和Y5、观察样品（1）移动样品可以通过操作面板上的滚动球来实现，在低倍下寻找感