扫描电镜SEM应用简介课件.ppt

《扫描电镜SEM应用简介课件.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、电镜应用简介1扫描电镜扫描电镜的工作原理扫描电镜的工作原理可以简单地归纳为“光栅扫描，逐点成像”。扫描电镜图像的放大倍数定义为M=L/lL显象管的荧光屏尺寸；l电子束在试样上扫描距离。扫描电镜的主要性能与特点放大倍率高（M=Ac/As）分辨率高（d0=dmin/M总）景深大（F≈d0/β）保真度好样品制备简单作为放大镜须掌握的技能样品初始高度的调整聚焦：正焦、欠焦、过焦像散及消除亮度、对比度过焦正焦欠焦像散12341正焦无像散2正焦有像散3欠焦有像散4过焦有像散像散影响扫描电镜图象及衬度二次电子像背散射电子像二次电子象二次电

2、子象是表面形貌衬度，它是利用对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为调节信号得到的一种象衬度。因为二次电子信号主要来处样品表层5－10nm的深度范围，它的强度与原子序数没有明确的关系，便对微区表面相对于入射电子束的方向却十分敏感，二次电子像分辨率比较高，所以适用于显示形貌衬度。凸凹不平的样品表面所产生的二次电子，用二次电子探测器很容易全部被收集，所以二次电子图像无阴影效应，二次电子易受样品电场和磁场影响。二次电子的产额δ∝K/cosθK为常数，θ为入射电子与样品表面法线之间的夹角，θ角越大，二次电子产额越高，这表明二次电子对样品

3、表面状态非常敏感。背散射电子像背散射电子是指入射电子与样品相互作用(弹性和非弹性散射)之后，再次逸出样品表面的高能电子，其能量接近于入射电子能量(E。)。背射电子的产额随样品的原子序数增大而增加，所以背散射电子信号的强度与样品的化学组成有关，即与组成样品的各元素平均原子序数有关。两种图像的对比锡铅镀层的表面图像（a）二次电子图像（b）背散射电子图像能谱分析分辨率：129eV(MnK)选区分析线扫描面扫描能谱仪EDX选区分析NiLaOＥＤＸ线扫描SELaLNiKOKEDXMap扫描电镜样品的制备1.要求干净，干燥的块状或粉末样

4、品，尺寸最好不大于φ20×10mm。2.断口样品：要求是干净、新鲜的表面，最好断面平整。3.非金属样品最好在真空镀膜机中喷镀金、铝或碳，以保证样品导电性良好；或者采用低真空操作模式。电镜操作的基本步骤1制样2抽真空3调整样品高度：先聚焦清晰，确定样品高度，再设定为10mm4选定HV及SPOTSIZE，开始工作。5聚焦-消像散直至满意，记录图像。6工作结束，HVOFF。样品归位。7真空放气，换样品。实验中注意事项多样品时试样高低尽可能一致绝缘材料的喷金问题观测纳米结构尽量不喷金多余粉末样品一定要吹走溶液样品要考虑干燥后可溶杂质

5、的残留注意分析手段的分辨率研究工作态度端正，不能专挑好看的注意平衡测量进度与拍照质量