蒸发台真空舱体设计.pdf

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1、Academic学术方面的优势的，比如在实现及调式方式3．1励磁控制系统软件设计为渠道，然后实现数据的交换，进一步较容易实现，又比如自适应性强及结构对于励磁控制系统的软件设计来说，使励磁控制系统的功能充分展现出来。简单等并且，这些优势均为系统的实主要分为两大部分，其一为信号检测模4．结语时控制提供了帮助，让控制器的设计更块的设计，其二是励磁控制算法实现部通过本课题的探究，认识到交流具简单化，进一步将多变量模糊控制器分的设计。由于信号检测模块的设计先励磁发电机励磁电源的设计的重要性取而代之。于励磁控制算法实现部分的设计，因此与必要性。通过对TMS32OVC5402与2

2、．2定子电压定向方法下面笔者重点对这部分进行分析。对于TMS320LF2407的特点加以应用，能够使对于定子电压定向方法而言，主要信号检测模块的设计，首先需要对基于交流励磁发电机励磁控制器具备方面的是对系统控制所使用的一种方法。该方发电机当中的定子三相电压及电流瞬时优势，比如结构较为简单，又比如控制法是在具有独立特性的单变量模糊控制值进行检测，其实现需要利用多个模块，速度非常快等。总而言之，要想使交流器的基础上，使转子励磁电压分量对有主要包括了定子电压检测模块、定子电励磁发电机的性能及作用充分展现出来，功及无功的交叉耦合效果得以有效实现。流检测模块及转子位置角检测模

3、块等。便需要做好相关设计工作，进一步为交可将交流励磁发电机当作非线性黑箱式对于交流信号的检测，需要遵循一定的流励磁发电机的工程应用起到推波助澜结构，并且当中是存在模糊控制的。步骤，需使用富氏算法对所获取的电压的作用。对于三相交流励磁的控制，主要由两部及电流相量进行分析，进一步使交流信分加以实现，一部分为通过信号及转子号的检测得以有效实现。在对定子电压参考文献：的控制加以实现；另一部分为通过网侧周期进行测量的基础上，利用软件倍频[i]高雅利．薛亚宾．辛伊波．基于变换器的控制加以实现。法使一个周期之内的等间隔采样得到有混合调制的同步发电机交流励磁电源研2．3模糊控制器分

4、析效保障。究[J]．工矿自动化，2010，03：61—63．解耦励磁控制要想得到有效实现，3．2励磁控制系统硬件设计[2]岳夕彪．杨润生．车载交流励磁便需要明确模糊控制器，由于模糊控制对于励磁控制系统的硬件设计，主发电机的励磁调节特性研究[J]．电工技器会受到诸多因素一项，包括参数的变要是通过双CPU的使用加以实现。对CPU术，2010，09：45—47．换性、系统的复杂性及一些人为因素等。进行主控的为TMS320VC5402，主要作用[3]孙小虎．杨润生．党若雯．基于鉴于此，采取优化的模糊控制算法便显是对信号进行采集并完成励磁控制算法，双PWM励磁电源的新型交流励

5、磁系统[J]．得极为重要。智能权函数便是一种优化同时该部分也属于励磁控制系统当中的国外电子测量技术，2012，01：6O一62．的模糊控制算法，它无需确定模糊推理中心计算部分。对于TMS320LF2407，[4]刘明基．张晓燕．李理．混合励规则，同时也不需要将基于模糊变量的主要参照主计算CPU通过输出得到的励磁同步发电机交流励磁的矢量控制[J]．隶属度函数进行确定，能够使系统更加磁信号，进一步形成PWM波形，然后对微特电机，2014，02：42—45．简易化，同时使系统的动态特性得到很励磁主回路的交直交变频器进行有效控作者简介：大程度上的提升。制，最终实现三相励磁电

6、压的输出。对黄先杰(1971一)男，广西南宁人，3．励磁控制系统软、硬件设计探究于双CPU之间，主要将双端口存储器作研究方向：发电厂及电力系统。蒸发台真空舱体设计蓝健朋(310018杭州士兰集成电路有限公司浙江杭州)摘要：本文主要讨论了用于电子束蒸发台的真空舱体的设计。根据真空舱体所要求的指标选择真空泵，对真空容器设计中涉及的一些重要参数的选择与计算进行详细的讨论，对容器的强度进行有限元分析，进而进行板厚补强。通过实际测量应用证明设计对关键参数的选择与计算是正确的，真空舱体的设计是成功的。1．真空舱体的设计要求及技术指标5．0×10Pa的要求。而真空室的极限真2．2

7、．i根据粗抽机械泵计算本文主要涉及真空条件。在实际应空总是低于真空泵组的极限真空，故真2．2．I．i舱体从大气压1OPa降到用中，对蒸发台的真空要求主要有三个：空泵的极限真空P要小于5．0×i0Pa。5．OPa所需要的时间为tOmin(1)极限真空：小于5．0×10Pa对于半导体设备而言，要求真空镀2．2．1．2根据抽气时间列线图计算舱(2)工艺工作真空要求：作业过程膜舱体洁净，不能有颗粒污染，这三种体的大概容积中真空度小于1．0×10Pa泵都能符合要求。选用低温泵，从性价(1)首先计算压力比鲁=；一，(3)抽速要求：5O分钟内达到比考虑，选用AustinSci