无尘室验证标准及程序.ppt

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1、無塵室验证标准及程序大綱壹.測試驗證說明貳.測試驗證設備一覽表參.測試驗證步驟說明肆.測試驗證方法與程序壹、測試驗證說明無塵室驗收測試規範依據如下：ISO-14644:世界標準組織制定無塵室測試之標準規範NEBB:美國國家環境平衡協會所制定無塵室測試之標準規範無塵室測試分三階段:第一階段AsBuilt第二階段AtRest(由吉威配合業主部份需求點進行抽測)第三階段Operation(由吉威配合業主部份需求點進行抽測)AsBuilt潔淨室建造完成，生產設備未搬入之狀態AtRest潔淨室建造完成，生產設備已搬入但未運轉之狀態OnOper

2、ation潔淨室建造完成，生產設備已搬入且運轉之狀態測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉48小時以上.無塵室測試驗證項目1.濾網風速測試(Airflowvelocitytesting)2.濾網洩漏測試(Filterleakagetesting)3.無塵室內溫溼度測試(Temperature&Humiditytesting)4.無塵室內壓差測試(Roompressurizationtesting)5.無塵室內噪音測試(Noiseleveltesting)6.無塵室內照度測試(Lightingleveltesting)7

3、.無塵室內環境微粒子測試(AirParticlecounts)8.無塵室內地板靜電測試(FloorConductivitytesting)貳.測試驗證設備一覽表NoTestDescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracyRemark1AirflowVelocityTestShortridgeElectronicMicromanometerADM-870M98801+/-3%ofreadingShortridgeElectronicMicromanometerADM-870CM

4、97311+/-3%ofreadingShortridgeElectronicMicromanometerADM-870M89721+/-3%ofreading2FilterInstallationLeakTestPMSAerosolParticleCounterLasair-11035235-0696-4125%coincidencelosePMSAerosolParticleCounterLasair-110150575%coincidencelosePMSAerosolParticleCounterLasair-1103663

5、4-0697-5845%coincidencelose3AirborneParticleCountTestPMSAerosolParticleCounterLasairII-310A447345%coincidencelosePMSAerosolParticleCounterLasairII-310A363335%coincidencelose4RoomPressurizationTestShortridgeElectronicMicromanometerADM-870CM04850+/-2%ofreadingShortridgeE

6、lectronicMicromanometerADM-870CM89721+/-2%ofreadingNoTestDescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracyRemark5Temperature&RelativeHumidityTestTestoDataLogerTesto175-H220063921/507Temperature:+/-0.10CR/H:+/-3%TestoDataLogerTesto175-H220063695/507Temperature:+/-0

7、.10CR/H:+/-4%6SoundPressureLevelTestSoundLevelMeterRIONNL-2100443361IEC/CDV61572-1Class27LightIntensityLevelTestHiokiLightIntensityLevelMeter34230834380+/-4%ofreading,+/-1digit8FloorConductivityTest3Mmegaohmmeter702346016+/-2%ofreading參、測試驗證步驟說明測試前準備工作:竣工圖面與點數確認備妥測試程

8、序計劃及依據規範之標準.測試前無塵室空調系統已完成,並已持續運轉48小時以上.測試進行當中,業主需派人或代表在現場監工以表測試結果認同.肆.測試驗證方法與程序一.濾網風速測試(Airflowvelocitytesting):AsBui