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时间:2020-03-21
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1、1IVOConfidential特气系统设计2ALS2.0特气中央系统概述阀盘介绍管路设计气体侦测系统特气中央系统设计3类别气体名称腐蚀性/毒性CORROSIVE/TOXICHCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3…等可燃性FLAMMABLEH2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等助燃性O2、Cl2、N2O、NF3…等惰性INERTN2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等1.1气体种类大宗气体特殊气体N2、H2O2、HeAr、He…4
2、氣體ArArH2H2HeHeN2N2O2O2B2H2B2H2CF4CF4Cl2Cl2HClHClHFHFNF3NF3NH3NH3N2ON2OPH3PH3SiH4SiH4SiH2Cl2SiH2Cl2SF6SF6AirAir:相容;:危险;:激烈反应;:爆
3、炸1.2气体相互反应表51.3气体供应方式大宗气体桶槽钢瓶N2、O2H2、He特殊气体液态气态NH3CL2NF3SIH46GR氣瓶櫃VMBVMPPOU1.4特气供应流程71.5a特气系统流程图81.5b特气系统流程图91.5c特气系统流程图101.5d特气房间平面图111.5c特气系统供应能力气柜名称气柜供应能力主管路供应能力VMB支供应能力单台设备需求量设备数量SIH480SLPM80SLPM12SLPM6.8SLPM5NH3200SLPM200SLPM42.8SLPM42.8SLPM512功能气瓶柜GasCabinet气瓶架GasRack防护箱体有无强制抽
4、气有无安全防护有无自动化有有/无1.6气瓶安置方式▼气体依化学性质分类如下:惰性气体(Intergas):N2-----使用GR(GasRack)▼易燃易爆性气体(Flammablegas):SiH4,NH3-----使用BSGS(Bulkspecialgassupplysystem)供应目前厂区钢瓶供应方式:2021/9/1413GRBSGS1.6a气瓶柜/架141.7气瓶柜之操作功能Pre-Purge抽出管內特气更换钢瓶操作人员手动更换更评PostPurge更换钢瓶后清洁管路ProcessPurge清除N2、气体上线手动模式故障排除时,可人为操作阀件开关参
5、数设定模式设定各种功能参数历史记录查询查看历史报警ProcessVENT1%PH3/H2N2N2VGSLPIREGPGIREGPGBVHPAHPVLPVHPI吹扫区真空产生区供应区P1P4P3P21.7a气瓶柜之操作示意图16钢数使用时机优缺点单钢制程未有量产之考量,常用于实验室简单、节省空间、成本低、需透过日常管理以避免制程双钢制程有量产之考量,不允许停机由厂务端统一供应PN2风险高,亦可能造成交互污染3钢制程有量产之考量,不允许停机设计成本较高,但可避免不同气体相互污染,风险低2.1气瓶钢数的设计172.1a三钢式气瓶柜182.1b三钢式气瓶柜192.2低
6、压气体供应设计重点供应流量设计考虑气体特性、钢瓶表面积、管路长度…等钢瓶温度设计侧面加热套底部加热管路温度设计加热帶保溫棉越短越佳温控设备设计加热帶需有最高的加热溫度(65℃)一般加热溫度(30-40℃)202.3空间设计依气体特性一般区分成三间:腐蚀性/毒性气体房易燃易爆气体房惰性气体房设计重点防爆墙、泄爆口空调温控、大量排气、负力设计气体泄露侦测、独立监控室消防洒水、侦烟器、UV/IR、极早期侦烟一般及紧急防护具、地震仪与供应点距离近,但須有适当的安全区域与物料间距离近,但須有适当的安全区域212.4电力系统设计需接UPS电源需接紧急发电电源独立之电源避免
7、不正常之跳机包括气瓶柜、VMB、消防、洩漏侦测、LocalScrubber、排气…等相关设施;1.可处理停电时之紧急状况;2.可于停电时处理管路之残存特气之排放可避免受其他系统之影响222.5气瓶柜功能设计气瓶钢数3钢:一瓶使用、一瓶standby、一瓶purge管路清洁用PN2自动切换由气体压力由钢瓶重量日常操作与Purge功能自动、半自动、手动控制系统PLC自动控制、警报输出至远端人机触控面板控制不相容气体不可设计在同一气瓶柜不相容气体的purge管路不可相连考虑使用压力与流量之需求CGA接头需与钢瓶接头同一型号盘面零件需考虑钢瓶高度依照气体特性选择适当零
8、件如腐蚀性、高压/低压注意管路死角pu
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