硬盘盘片表面缺陷检测装置光学系统设计.pdf

《硬盘盘片表面缺陷检测装置光学系统设计.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、分类号：!12业【：DC：68【7密级：可公肝编号：硬盘盘片表面缺陷检测装置光学系统设计OpticalSystemDesignForHardDiskPlatterSurfaceDefectInspectionDevice学位授予竹位段代¨：壁盘型』盔芏!!Q!竖2学科专业私称及代蚪：堂芏I二瑾!Q§业!研究方向：堡Il超三；竺熊盛盟￡型直旦指导敦师：疃』垒jiii圈拦丛生塾攫研究7E盟造氏春理1=大孽硕。或毒‘、学位=!文库刨忙112IIIIIIIl8IIIiIIlllllllllllllllllMIIIIIIIIIY22294

2、83本人鄙重声明：所呈交的硕士(或博士j学位论文．《硬盘盘片表面缺陷检测装量光学系统设计}是本人=!三指导教师的指导下独卫进肾研宽工作所取得的成果。除文中三经注旺引用的虎容，二，年论卫不龟台

3、_三何其他个人或集体己经发表或撰写连的作品或果。玎本又的研究做出重要贡献的个J、和集体均己在x干以明确方式标明。本人芫全意识到本声明的注簿结果由本√、承担。作者签名j弹3拉u军—王日[L【三长春理_[大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教Jm完全了解“长眷理工大学珂j士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学

4、信启研究所、中国化秀博硕士学位论文全文数据库和cNKI系列数据库及其它国家有关部]或机构送交学位论文的复印件和电子板．允许论文被查惩和借阅。本人授权长春理工大学可斗将本学位论文的全部或部分内容编八有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和忙编学位论文。仁岩篓名丝趁Ⅻ上年i马Ⅱ一导师签名1∞。：r玉』ili≯r【勉摘要根据光的敞射理论tⅡ知．当光照射粗糙表面时会度生敞射现蒙。本文利用钮离子激光器作为光源，将其发出的光束通过激光整形系统后变成椭脚光，然后用其j{{【射待捡盘片表面。由于盘片表面疵病的作用而芨生散射现

5、敦．通过分析敞射光和反射光便可以得到被测盘片表面的特性。丈中从散射角和敞射光能量两个方面，讨

6、仑了光学设计软件zE姒x中的四种散射模型．再结合硬盘盘片表面疵病的相糙度等级，从中选择了一种合适的模型柬反映盘片表I衙的散射情况，然后利ttJ光学蹬计软件ZEMAX设计了该检测装置的光学系统。从而可以根掘对光电倍增管和光电位置传媾器接收到的光能的分析．实现对盘片表I酊疵病大小和位置的判断。关键词：光学设计表面散射模型激光整形表面疵病检测ABSTRCTScatteringtheoryindicatesthatlightincidenceo

7、ffroughsurfacecausesscatteringphenomenonThelaserbeamwhichemittedbyusingargonionlaserisshapedintoovallight，irradiatingtothesurfaceofunmeasureddiskByanalyzrdgIhescatteringandreflecd。vclightswhichfromtheflawsofsurfacescanbemeasuredcharacteristicsofthediskplat—tersurface

8、Bystudyingscatteringangleandscatteringenergy,thisthesisdiscussedfourkindofscatteringmodelswhichweresupportedbvZemaxAccordingtotheroughnesslevelofflawsurfaceintheharddisk，areasonabtescatteringmodelwaschosentoreflectthesilu—ationofthesurfaceAtestingopticalsystemwasdesi

9、gnedThesizeandpositionofflawsurfaceswerefoundbyanalyzingthepowerwhichreceivedbyphotomultipliertubesandphotoelectricpositionsensoPsKeywords：OpticaldesignThemodelofsurfacescatteringLaserbeammshapingSurhcedefectstesting目录11表面缺陷检测技术的国内外现状⋯l12本文研究的目的和意义613本文研究的主要内容6第二章盘片表

10、面缺陷检测装置的原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。821检测装置的结构和实现过程822盘片表面特性923装置中光电倍增管(PMT)的性质及作用1024装置中光电位置传感器(PSD)的性质及作用⋯I3第三章盘片表面散射模型的确定31光敞射理沦一32敞射