LCD培训教材-无尘室的原理.ppt

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1、技术课培训教材题目:无尘室的原理内容简介:无尘室的原理;无尘室方式;无尘室管理.关键词:无尘室(CleanRoom);洁净度(Class);作成:金昌明无尘室什么是无尘室(CleanRoom):用通俗易懂的语言来描述的话,无尘室就是在某个空间的空气中尘埃、微粒子控制在一定数值以下,把压力、温度、湿度、气流分布及其形状和速度控制在一定范围内为目的而建造的屋子.CleanRoom简称为CR洁净度什么是洁净度(Class)?就是指单位体积(通常是立方英尺)的空气中含有大于、等于0.5μm直径的尘粒的数量

2、,也称为无尘度.1英尺=30.48cm1英尺1英尺1英尺为0.5μm直径的尘粒.尘埃的个数,就是洁净度.例如:有80个尘粒,那么洁净度就是80.0.0010.010.11101001000粒径:m烟尘大气尘云,雾大气中存在物常见的粉、尘空气清洁装置电子显微镜下看得见的粒子光学显微镜下看得见的粒子肉眼看得见的粒子油烟面粉干奶粉头发病毒HEPA过滤器静电式空气清净机一般空气过滤网微粒子的大小什么是尘粒?尘粒是微小的灰尘、悬浮的东西.尘粒越小,其表面积的比例相对增加,并不遵从牛顿定律运动,按重力垂落.

3、而是在空气中做不规则的运动,这种运动叫布朗运动.因是悬浮的东西,而且做不规则的运动,在洁净化技术、产品制造中是令人头痛的代表物.总之,尘粒会对产品成品率高低影响至关重要.如:电腐蚀现象.尘埃电腐蚀现象IC側尘粒(与空气中的微量水份结合在一起)这样尘粒付着状态下通电的话,电流通过尘粒流向邻近的ITO中,会造成浅横线不良.这种状态下继续使用渐缓短路现象(在通电状况下渐渐地腐蚀ITO,以至于最后造成ITO断线→电腐蚀现象)电腐蚀:在通电状况下ITO被电解而造成断线的现象无尘室的原理通过空调系统和净化装置

4、把空气进行调湿、调温和过滤,然后把净化的空气通过无尘室的高效过滤器送入到无尘室内,达到洁净等级的标准.通常:温度:22℃±3℃;湿度:55%±5%.包括:1.空气调节系统;2.空气净化系统.无尘室的类型按洁净度和气流的状态的组合可以分为三种方式:紊乱式无尘室;水平平行流式无尘室;垂直平行流式无尘室.1.紊乱式无尘室(ConventionalflowtypeCR):HEPA过滤器空气调和器进气口排气口HEPA:HighEfficiencyParticulateAirfilter.以玻璃纤维为主体的制

5、成的高效过滤网通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风.无尘室的类型Ⅰ1.紊乱式无尘室(ConventionalflowtypeCR):HEPA过滤器空气调和器多孔板进气口无尘室的类型Ⅰ无尘室的类型Ⅱ空气调和器照明吹出口2.水平平行式无尘室(CrossflowtypeCR):HEPA过滤网HEPA过滤网HEPA过滤网通过无尘室墙壁的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风.无尘室的类型Ⅱ2.水平平行式无尘室(CrossflowtypeCR):HEPA过滤网点检空间墙壁吸

6、附口空气室无尘室的类型Ⅲ3.垂直平行式无尘室(DownflowtypeCR):HEPA过滤网空气调和器通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过地板的排气口回风.因通过整个屋顶的高效过滤器向下送风,故该类型无尘室的造价高于其他类型.地板(吸附口)无尘室的类型Ⅲ3.垂直平行式无尘室(DownflowtypeCR):HEPA过滤网空气调和器屋顶内空气室地板下空气室地板吸附口无尘室的管理原则四大原则:杜绝把灰尘带入无尘室;减少和防止无尘室中尘粒的产生;清除无尘室中的灰尘;监测环境参数.原则-11.杜

7、绝把灰尘带入无尘室;进入无尘室中的有:空气;人员;设备;材料等.原则-11.杜绝把灰尘带入无尘室;(一).空气:(1).通过过滤网净化空气:常用的过滤网:玻璃纤维和玻璃石棉等.玻璃纤维:能过滤0.3m的悬浮尘粒,甚至达到0.04m的悬浮尘粒;过滤效果:99.99%玻璃石棉:根据石棉的的直径大小决定;例:1m的石棉过滤1m的尘粒.原则-11.杜绝把灰尘带入无尘室;(一).空气:(2).设定室内压力高于室外.为了防止室外未过滤的空气通过缝隙或入口处进入到无尘室中,无尘室内要保持一定的静压.无尘

8、室中的空气压力一般要比室外高25Pa左右.原则-11.杜绝把灰尘带入无尘室;(二).人员:进入无尘室的人员必须穿着无尘衣(包括手套、帽子、鞋、口罩),用纯水洗手,再通过风淋室进入无尘室.参考资料:进退入无尘室手顺书原则-11.杜绝把灰尘带入无尘室;(三).设备及材料:进入无尘室的设备及材料要经过特殊的清洁方法,即除尘处理后,才可以进入无尘室.原则-2进入无尘室必须穿着无尘衣.不得使用容易产生灰尘的材料、设备、备品等.使用无尘室用品.(无尘纸、无尘本、圆珠笔等)减少没必要的人员的活动