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1、无尘室培训教材无尘室的起源与发展十九世纪初期，各种细菌被相继发现，为防止病房、手术室中细菌传播，无菌室成为最有效的对策，这便是现代无尘室的前身。飞机所使用的小轴承及齿轮若至于粉末，灰尘多的环境中制造，不但故障频发而且容易引发严重事故，这个事实在二战前就已经被了解。二战时，美国将零件置于空气浮尘较少处进行加工组合，装备的可靠性得到极大的提升。与此同时，美国的曼哈顿计划中，为除去放射性微粒，制造了超高性能过滤器(HEPAFILTER)，对日后洁净技术的开发影响极大。1967年，美国进行阿波罗计划时，为防止细菌在大气层和外太空传播，制定了无尘室的相关规格。静电照度振动值气体分子
2、电磁波噪音微尘粒子湿度气流型态压力温度3无尘室的控制要素无尘室的定义无尘室(CleanRoom)：指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除；并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净等级分类51.不带入适当压差MAU过滤器AIRSHOWER2.不发尘用人少,动作轻人员穿着无尘衣使用CR专用器具3.不堆积LAYOUT无死角设备四周留空间定期保养与清扫4.速排除污染源直接
3、排除换气次数要足够适当的回风术气流速维持洁净度的基本准则污染物大小与对比70.5um粒径肉眼可视粒径-5um人类头发直径-100um无尘室控制--微尘粒子的排除减少粒尘进入无尘室去除外器引入之尘粒控制正压设置AirShower设置PassBox去除无尘室内之尘粒冲淡法:以洁净空气冲淡无尘室内尘粒置换法:以洁净空气置换无尘室内之尘粒无尘室控制--微尘粒子的排除空调箱内空气过滤网种类预滤网(Pre-filter)滤除大气中1μm以上之粗粒子过滤效率70~90%ASHRAEARRESTANCE用来延长中级过滤网之效率中级过滤网(Middlefilter)滤除大气中1μm以下之粗
4、粒子过滤效率35~95%DustSpot用来延长最终过滤网之效率最终过滤网(Finalfilter)滤除大气中0.5μm以下之微粒子过滤效率99.97%以上DOP可分----HEPA及ULPA无尘室控制--微尘粒子的排除天花板上最终空气过滤网种类HEPA—HighEfficiencyParticulateAirFilter滤除大气中0.3μm以下之微粒子过滤效率99.97%以上DOP(即穿透率小于万分之三)ULPA—UltraLawPenetrationAirFilter滤除大气中0.1μm以下之微粒子过滤效率99.999%以上DOP(即穿透率小于十万分之一)Note:传
5、统滤材为玻璃纤维材,随晶圆线径越細,滤材逐渐为PTFE无尘室控制--微尘粒子的排除AirFlowFanFilterUnit外气空调箱DCToolsDCHumidifier11Tools无尘室控制--微尘粒子的排除每立方呎屋外空气尘粒(≧0.3μm)数量大约7,143,000个经初级滤网去除数量1%(重量去除85%)通过7,072,000个/ft3经中级滤网去除数量55%通过3,182,400个/ft3经最终滤网去除数量99.97%通过955个/ft3进无尘室假设送风量350ft3/sec洁净度控制举例无尘室初级滤网预冷盘管预热盘管加湿器截水器冷却盘管加热盘管初级滤网送风机
6、组中级滤网ＨＥＰＡ逆止风门外气空调箱无尘室控制--微尘粒子的排除AirFlowFanFilterUnit外气空调箱DC来自空调箱供应955个/ft3x350ft3/s=334,250个/s机台人员建筑发尘30,000个/s滞留系数0.13,000个/s未带走27,000个/s被气流带走334,250+27,000=361,250个/sHEPA去除效率99.99%每秒约通过36.1个(3,000+37)/3,500=0.87个/ft3符合洁净度控制举例(符合Class1@0.3μm范例)假设换气量每秒3,500ft3制造区无尘室控制--微尘粒子的排除无尘室控制—人员的进出管
7、控经预冷盘管后冷却为16.6oCRH100%假设送风量10m3/sec无尘室初级滤网预冷盘管预热盘管加湿器截水器冷却盘管加热盘管初级滤网送风机组中级滤网ＨＥＰＡ逆止风门夏天外气条件DB35oC，RH80%(气象统计1%)无尘室运转条件22±2oC，RH45±5%(依产品制造要求)经冷却盘管后除湿为9.5oCRH100%经加热盘管后改变湿度11.2oCRH90%外气空调箱控制温度、湿度无尘室控制—温湿度的控制AirFlowFanFilterUnit外气空调箱DC空调箱供应11.2oC90%10m3/s机台人员建筑4F发热量：18
