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1、ESD量測方法 與步驟Griss07.10.31WI029適應範圍與目的1.適應範圍:適用于公司內部所有靜電防護措施的檢測2.規范公司內部靜電防護用具測試方法,做到統一化管理.2WI029內容摘要標題1適應範圍與目的2靜電地板的測試4~6廠房靜電接地系統測試7~8靜電桌墊測試9~11機器/儀器/治具接地(用三腳插座的)靜電電壓測試12機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量13~14台車接地鐵鏈測試15靜電手環測試16~17靜電手環/靜電鞋系統測試18~19END203WI029靜電地板的測試(一)1.使用設備
2、:表面電阻測試儀(3M#701TestKit)2.測試時間:每季度第一週3.測試步驟:a.取出表面電阻測試儀,兩個地雷的底部用抹布擦拭干淨.將接的兩端分別插入地雷和測試儀.并將測試儀調至100V當.4WI029b.面對面測試:取靜電地板區域任意兩點(兩點間距离為0.9~1.5m)各放置一地雷,按下TEST按鈕讀出儀器指針讀數,紀錄于“靜電地板測試紀錄表”;如上方法再任意取與前面不相同的兩點進行測試,結果分別紀錄于表格中面對面對應6個項次;靜電地板的測試(二)5WI029c.面對地測試:取靜電地板上任意一點及
3、大地上任意一點,分別放置一地雷,按下TEST按鈕進行測試,讀出儀器指針讀數,紀錄于表格中面對地對應項.d.測試結果與相應項次SPEC值比對,若七項都在規格內則視為OK,在結果欄內填寫"OK",反之只要有一項不在規格之內就判為"NG"e.維護課對結果NG的靜電地板作异常處理并將結果填寫于表格內靜電地板的測試(三)6WI029廠房靜電接地系統測試(一)1.使用設備:接地搖表2.測試時間:每月第一週3.測試步驟:a.將室外接地的二只銅棒插入地下0.5m，二只銅棒距離:2.5m.b.接地搖表接線:將搖表P,T:兩端
4、子分別接室外接地銅棒,E:端接測試點7WI029c.一只手搖表，另一只手調節表值，當指鐘為”0”讀取數值,并紀錄于"廠房靜電測試紀錄表".d.測試結果于規格阻抗值不大于4ohm進行比對,不合格的由維護課對接地系統進行檢查,對損坏部分進行更換廠房靜電接地系統測試(二)8WI029靜電桌墊測試(一)1.使用設備:表面電阻測試儀(3M#701TestKit)2.測試時間:每月第一週3.測試步驟:a.取出表面電阻測試儀,兩個地雷的底部用抹布擦拭干淨.將接的兩端分別插入地雷和測試儀.將測試儀調至10V當9WI029b
5、.面對面測試:取靜電桌墊上任意兩點,兩點間距离為0.9m~1.5m,各放置一地雷,按下TEST按鈕讀出儀器指針讀數,紀錄于“ESD桌墊靜電扣接地每月查核紀錄表";靜電桌墊測試(二)10WI029c.面對地測試:取靜電桌墊上任意一點及大地上任意一點,分別放置一地雷,按下TEST按鈕進行測試,讀出儀器指針讀數,紀錄于表格中面對地對應項.d.測試結果與規格進行比對,兩項都在規格之內則為OK,有一項不在規格之內則視為NG,NG的靜電桌墊須進行更換處理.靜電桌墊測試(三)11WI029機器/儀器/治具接地(用三腳插座
6、的)靜電電壓測試1.使用設備:万用電表2.測試時間:每週第一個工作日3.測試步驟:a.將万用電表調至AC擋b.測試機器/儀器/治具金屬外殼對大地間的漏電電壓,將測試值填寫于"儀器設備接地每週查核紀錄表"c.測量標準應小于5ACV,否則判為NG,對NG須重新檢查接地狀況,并維修.12WI029機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量(一)1.使用設備:万用電表2.測試時間:每週第一個工作日3.測試步驟:a.將万用電表調至歐姆擋b.測試接地線兩端間的阻抗值,万用電表的黑表筆用靜電接地線的鱷魚夾夾住,紅表筆接触靜電線
7、靜電扣金屬部分,將測試值填寫于“儀器設備接地每週查核紀錄表“(測試時需以45度角晃動靜電線,看測試值是否會因損坏而跳變,若跳變在規格范圍1M+20%歐姆之間,表示正常,若超出此規格,則視為NG)(如下圖)13WI029c.測量標準應在1M+20%歐姆之間,否則判為NG,對NG的接地線作更換處理.機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量(二)14WI029台車接地鐵鏈測試使用設備:万用電表2.測試時間:每週第一個工作日3.測試步驟:a.將万用電表調至歐姆擋b.測試接地鐵鏈兩端間的阻抗值,万用電表的黑表筆接触接地鐵
8、鏈末端,紅色表筆接触接地鐵鏈與台車的耦合處,黑色表筆將鐵鏈外拉,將鐵鏈拉直,將測試值填寫于"儀器設備接地每週查核紀錄表"c.測量標準應不大于4歐姆,否則判為NG,對NG的接地鐵鏈作更換處理.15WI029靜電手環測試(一)1.使用設備:靜電環測試儀或万用電表2.測試時間:每班開線前3.測試步驟:a.用靜電環測試儀測試步驟:將靜電手環正确佩戴于左手腕,手環的鱷魚夾夾于測試儀的夾子上,用右手按測試儀的測試按鈕,如果測
