ESD的防护方法与作业规范.ppt

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1、ESD教育訓練教材訓練課程大綱壹.ESD(靜電放電)介紹貳.ESD防制之目的參.ESD基本知識介紹肆.ESD基本防護方法及傷害類別伍.ESD防制之設備儀器介紹與使用陸.ESD防制基本作業規範柒.ESD靜電防護注意事項及稽核問題點總匯Definition定義ESD----ElectrostaticDischarge靜電放電處于不同靜電勢的物體之間的靜電轉移﹐該靜電勢是由于物體直接接觸或靜電場感應引起.EPA----ESDprotectedareaESD防護區ESDS---ElectrostaticDischargeSensitiveDevice靜電敏感零件可能在日常操作,測試或

2、轉移中被靜電場或靜電放電破壞的分離元件,集成電路或成品.如﹕Pickup,IC等.EOS---ElectricalOverStress電壓過應力壹.靜電放電(ESD)介紹靜電原因:摩擦、剝離、感應...機制:物質因失去或得到電子而帶電靜電放電原因:電位不同物體間的電荷移轉不一定伴隨有電弧或火花發生摩擦生電與靜電放電人體與地毯摩擦產生靜電放電後人體電荷平衡人體經接地後放電剝離生電靜電放電模式人體放電模式(Human-BodyModel,HBM)機器放電模式(MachineModel,MM)元件充電模式(Charged-DeviceModel,CDM)人體放電模式(HBM)的ESD是

3、指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電,當此人去碰觸到IC時,人體上的靜電便經由IC的腳(pin)而進入IC內,再經由IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns,nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流,電流會把IC內的元件給燒毀。機器放電模式(MM)的ESD是指機器(例如機器手臂)本身累積了靜電,當此機器去碰觸到IC時,該靜電便經由IC的pin放電。因為大多數機器都是用金屬製造的,其機器放電的等效電阻為0;由於機器放電模式的等效電阻為零,故其放電的過程更短,在幾毫微秒到幾十毫微秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生,因此對元

4、件的破壞力更大。此放電模式(CDM)是指IC先因磨擦或其他因素而在IC內部累積了靜電,但在靜電累積的過程中IC並未受傷。此帶有靜電的IC在處理過程中,當其pin去碰觸到接地面時,IC內部的靜電便會經由pin自IC內部流出來,而造成了放電的現象。此種模式的放電時間更短,僅約幾毫微秒之內,而且此放電現象更難以真實的被模擬。ESD三種模式比較HBM與MM-->人體、機器或環境帶電HBM是最古老且最常發生的模式,但並非最嚴重的危害模式MM造成的故障與HBM類似,但電壓卻遠低於HBM,速度亦較HBM快CDM-->元件帶電造成ESD故障的主要原因上升時間最快速,產生大電流,快速放電貳.ESD

5、防制之目的改善產品品質並減少及防制ESD對電子產品的損害。藉由教育訓練的實行,降低產品不良的發生與耗損。改善客戶產品損害,增加產品可靠度。降低客戶抱怨,提昇信譽。參.ESD基本知識介紹影響靜電荷產生量的因素相對溼度物質材料(摩擦電序列)接觸的面積摩擦頻率ESD靜電防護區ESD管制區域環境溫度必須控制在﹕15--27°C濕度必須控制在:30%-75%R.H之間相對濕度需保持在20%以上﹐增加現場相對濕度可以增大電荷流動性﹐減少靜電放電可能造成的危害﹐但過高的濕度可能引起諸如腐蝕﹐設備內潮濕等問題.ESD靜電防護區必須張貼“ESD防護區”的標志﹐標志的尺寸必須大于300mmx150

6、mm。典型的ESD電壓認識靜電放電靜電之產生靜電壓(kV)相對溼度20%相對溼度80%在乙烯基材質的地板走動120.25在人造地毯上走動351.5坐離發泡椅墊181.5拿起聚乙烯塑膠袋200.6在地上滑動苯乙烯材質的箱子181.5移除PC板上的Mylar膠帶121.5PC板上的收縮膜163作動真空吸錫器81噴電路冷凝噴霧劑155溫度:21℃材料的影響認識靜電放電●所有材料皆可摩擦生電↑正(Positive)●鋼(Steel)●空氣(Air)●木(Wood)●人手(Hands)●橡膠(Rubber)●玻璃(Glass)●金(Gold)●毛髮(Hair)●多元脂(Polyester)

7、●石英(Quartz)●聚胺脂(Polyethylene)●尼龍(Nylon)●聚乙烯(Polyethylene)●羊毛(Wool)●聚丙烯(Polypropylene)●絲綢(Silk)●乙烯基(Vinyl)●鋁(Aluminum)●矽(Silicon)●紙(Paper)●鐵弗龍(Teflon)●棉(Cotton)↓負(Negative)導電材質認識靜電放電防制105Ω/square1012Ω/square●導電材質(ConductiveMaterials)電流可輕易穿過或流過

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