气体设备的基础知识.ppt

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1、气体设备的基础知识一.气体设备种类面盘类设备主要分为：气源处理和气源分配2类气源处理：将钢瓶气源调整到设备所需压力、安全稳定、连续的输送到下游设备。BSGS：大流量特殊气体输送柜GC：气瓶柜GR：气瓶架气源分配：将输入管路调整为所需的输出管路，同时保证生产的连续进行。VMB：阀组箱VMP：阀组盘BSGSBSGS：大流量特殊气体输送柜气源在柜外的气源处理设备，一般情况下，储存量大于500L的特种气体储存和送气系统常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、NH3等高流量气体系统Y瓶T瓶BSGS全自动控制高压端工艺管径1/2"，低压段工艺管径1/2"高低压自动吹扫功

2、能自动切换，可远程紧急关断阀门autoguard防止误拆卸高压气源过滤功能10寸彩色触摸屏实现人机交互功能型号PLC控制彩色触摸屏面高低压自动吹扫自动切换紧急切断高压气源过滤一级调压二级调压流量开关autoguard抽风罩GS1üüüüüüü*ü*GS2üüüüüüüü*ü*"ü"必备功能；"*"为可选功能BSGS可选项简述1、二级减压当减压阀前后压差过大时，避免由于压降过大造成减压阀结露严重，需采取两级减压，一级减压至一个中档的压力，二级减压至需用的压力。2、流量开关流量开关主要是在管路中监控流量的大小。在流量高于某一个设定点时候触发输出报警信号传递至控制部

3、分阀门结露流量开关BSGS可选项简述2、UV/IR火焰3、感温装置4、感烟装置这三个选项根据介质的属性判断是否使用，一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到控制器，关断使用设备，避免更多的危害产生火焰侦测器感烟探测器感温探测器BSGS可选项简述5、管线伴热有些气体气源压力很低，需要通过加热管道来增加流量6、HEATING同样是一种通过加热管道，来增加流量的措施，对于流量要求比较高时采用的一种加速流量的方法7、抽风罩气源在柜外有接头和吹扫用阀门，有些危险性气体，需要监控接头的可靠性，此时需要配置抽风罩如设备没有配置抽风罩，在发货时需要配置吹扫阀门、单向阀

4、、钢瓶接头和接头锁面盘管道加热抽风罩GCGC：气瓶柜气源在柜内的气源处理设备特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备，一般情况下，储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种特殊气体供应系统功能型号PLC控制彩色触摸屏面高压保压自动吹扫自动切换紧急切断远程自动关断高压气源过滤工艺气体管路调压流量开关autoguardC1Aüüüüüüü*üC5Aüüüüüüüüü*ü"ü"必备功能；"*"为可选功能GRGR：气瓶架气源在柜外的气源处理设备大宗气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备，一般情况下，储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种无毒害气体供应系统区分气体名称气体性质

5、可燃助燃毒性腐蚀一般气体O2·N2ArH2·HeCO2NeXeGRGR：气瓶架GR的分类比较多，一般分有：1、用于BSGS/GC的吹扫的和保压常用气体高纯氮气VCR连接，高压端工艺管径1/4"，低压段工艺管径1/4"相同双瓶工艺气体高低压配置相同双瓶工艺气体双低压配置高低压气体过滤GRGR：气瓶架GR的分类比较多，一般分有：2、大宗气体气源处理根据介质性质，选择自吹扫和带吹扫VCR连接，高压端工艺管径1/4"，低压段工艺管径1/4"相同双瓶工艺气体双低压配置高低压气体过滤自动切换，远程紧急切断阀门VMBVMB：阀组箱特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体

6、，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体同时供应数台机台根据气体种类进行分类将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求隔膜阀配置，VCR接口柜内负压测量碳钢喷塑柜体，防爆玻璃视窗VMB标准型半自动配置，远程紧急切断各支路阀门进气扩展口*1支路配置：手动隔膜阀+标准型调压阀+压力表+出口气动关断阀手动N2吹扫功能手动抽真空功能标准型全手动配置进气扩展口*1支路配置：手动隔膜阀+标准型调压阀+压力表+出口手动关断阀手动N2吹扫功能手动抽真空功能VMPVMP：阀组盘特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体同时供应数台机台根据气体

7、种类进行分类将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求VMP隔膜阀配置，VCR接口标准型全手动配置进气扩展口*1支路配置：手动隔膜阀+标准型调压阀+压力表隔膜阀配置，VCR接口标准型全手动配置进气扩展口*1主进管路调压支路配置：出口手动关断隔膜阀VMP球阀配置，卡套接口标准型全手动配置进气扩展口*1支路配置：手动球阀+标准型调压阀+压力表球阀配置，卡套接口标准型全手动配置进气扩展口*1主进管路调压支路配置：出口手动关断球阀常用阀门图例常用位号定义PGI：PurgeGasIsolationValve，吹扫隔离阀HPI：ProcessGasSupplyIsolati

8、onValve，高压隔离阀LPI：Pr