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1、清洗：1，槽内换液流程，包括开始通知哪些部门，准确的联系方式，由谁负责，排液，加液时间到正常开始生产整个过程等。机器槽内换液必须通知水站，告知自己所在部门、线别及要换排哪几种液，由工序长负责排液，加液由工艺完成，液加完以后，试投一片，测试减薄量的大小，能否正常生产。2，每个槽内换液的周期，和时间点。碱槽、酸槽24小时一次，3、5、7水槽12小时一次，制绒槽10天一次。3，液用完后如何确保连续生产，员工如何知道液用完。液用完后立即进行更换，员工在生产当中会根据报警信息的内容，告之工序长。4，物料员关于目前化学品如何领用，区分，管理。物料员是根据少量多次，单一品种，双人领用和专
2、用领料车并佩戴防护用品，按酸碱和易燃易爆化学品不能储藏在同一贮藏室的原则实行分开和专人管理。5，三楼处集中换液的流程，每种化学品一般更换的周期（每桶）。要点:两人.一人换液,一人监督.换液人员穿戴好防护用具：双层乳胶手套,戴好防毒面具,穿好防酸服,穿好防护靴.a.设备报警后确定集中供液需要更换的化学品桶。b.将集中供液显示屏操界面中需要更换的化学品桶显示状况由“A线启用/B线启用”切换为“A线停止/B线停止”c.关闭进液管和回流管阀门。d.拆卸回流阀下端的回流管,（用扳手将空桶回流口拧紧）将回流管取下，放置于指定区域。e.将进液管从空桶进液口处进行拆卸,使其与空桶脱离.将空
3、桶拉出至指定区域放好.同时将该液的满桶运送上来,使其进液口,回液口与进液管,回液管阀门位置上下相对应.f.打开满桶的回液口,将回液管下端插入.同时将其上端与回液阀接口拧紧.g.打开满桶的进液口,将进液管接上,拧紧.h.确认各接口是否拧紧.(进液口;回液口;进液管;回液管;阀门).i.将进液阀完全打开,将回液阀打开与水平方向呈30~~45度角即可。j.将集中供液显示屏操界面的显示状况由“A线停止/B线停止”切换到“A线启用/B线启用”观察集中供液系统，确保无异常，即可恢复生产。k,确认化学品，放置化学品，将满桶回流盖松开，接入回流及抽液管，检查密封圈，接抽液管，检查各接口，关
4、闭工艺窗。l,换液完复位液位，确认集中供液机工作，放置防护服，并记录让领班确认并签字。HF（一天）HNO3（两天）NAOH（一天）HCL（两天）6，上下道碎片如何区分，区分的作用。清洗上道和下道的碎片是分开记录，分开包的。上道的碎片是原装碎、隐、裂缺角，崩边等它是制绒前碎片。下道碎片是经过制绒后的碎片，一般是机碎，隐裂或人为造成的。它们区分的作用是：便于回收。7，设备故障达到什么程度需要向上汇报。因设备故障3分钟内不能处理，立即通知设备和领班。达到半小时后要通知当班主管，超过1个时间通知区域主管，超过2小时区域主管通知高级主管。然后由高级主管通知经理。由设备开设备维修单。8
5、，如果不合格片退库，手续如何办理？如果因原材料硅片不合格，异常缺陷，首先保护好现场，然后找巡检过来拍照取证，把材料交给领班，由领班退库，由领班和巡检交涉退库事项。9，清洗间每条线每个班要求的产量，在制品要求的上下限，工艺允许在制品的等待时间是多长。清洗间每条线每个班的产量现在是13500PCS，在制品的上下限，是4张流程卡，但如有特殊情况，根据情况来逐量增加，工艺允许在制品的等待时间是越短越好。10，减薄量的控制。工艺要求:0.3~0.4g通过速度V来控制减薄量,公式:△M1*V1=△M2*V2通过添加HNO3/HF来提高减薄量(比例:0.5L/1L),每添加0.5LHNO
6、3减薄量提升0.02G通过控制药水自动调加速率来改变减薄量大小,例如500pcs/0.5L改成450pcs/0.5L,则减薄量增加0.02G11，制绒后绒面观测比较步骤:取较大碎硅片,过清洗线四次,并用显微镜观察绒面状况结果:未过清洗线的硅片表面无绒面,随着清洗次数增加绒面越大。扩散：1，换源流程？生产过程中要经常观看源瓶状态，待源瓶内液位低于2CM时即需换源，先需电话通知巡检人员到场，换源人员要穿防酸服，防酸裤，戴防毒面具及汗布手套和乳胶手套，将气源柜内快使用完的源瓶拆卸下来，拆卸时注意先关闭进气阀门后关闭出气阀门，然后将源瓶放至扩散间源瓶贮存室并登记。接下来便可取新源瓶
7、，先检查外观是否正常，然后依次拧开出气阀门和进气阀门，观看瓶内液柱是否有异常，待巡检人员检查完毕后再将阀门拧紧，然后用推车推至车间进行安装，先将源瓶阀门再拧开，然后先接出气管再接进气管，完成后即进行鼓泡实验，将扩散小氮流量打到500，鼓泡10秒钟，再将流量打到1000，鼓泡10秒钟，一切正常后再将流量恢复为0，然后将源瓶放置到位，再将换源登记填写好，换源完成。2，如何确保源的先进先出？扩散间源瓶贮存室内的源瓶分两个位置放置，后入部分和先入部分，取源瓶时应从先入部分取，待先入部分全部使用完后，将后入部分标识牌调换成先
