电池片生产工艺理论与知识问答

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1、电池片生产工艺理论与知识问答本文由risingstar8611贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。Kingdomsolar[电池片生产工艺理论与知识问答][仅限于金诺新能源科技有限公司内部员工学习参考使用]韩新星[2010/10/18]1/17工序名称与工序代号对照表工序名称插片扩散前酸腐及甩干磷扩散等离子体边缘刻蚀去除磷硅玻璃PECVD背电极印刷及烘干背电场印刷及烘干正电极印刷与烧结检测包装返工LW(Loadwafer)AED(AcidEtchingandDryingbeforediffusion)PD(PhosphorusDi

2、ffusion)PE(PlasmaEtching)WPSGD(WipingoffPSGandDrying)工序代号PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)BBSD(Backbusbarscreenprintinganddrying)BSFSD(Backsurfacefieldscreenprintinganddrying)FFSS(FrontfingerscreenprintingandSintering)ET(Efficiencytesting)P(Package)R(Rework)2/17多晶硅太阳电池生产工艺流程LWAEDPDP

3、EWPSGDRRPETFFSSBSFSDBBSDPECVD编制:审核:批准:3/17清洗制绒工艺目的:祛除机械损伤层,形成蜂窝状绒面结构,减少光的反射;祛除硅片表面的氧化层,硅酸钠残留,金属离子以及其他杂质,保证扩散前硅片的洁净。工艺原理:HNO3给硅表面提供空穴,打破了硅表面的Si2H键,使Si氧化为SiO2,然后HF溶解SiO2,并生成络合物H2SiF6。从而导致硅表面发生各向同性非均匀性腐蚀,形成的粗糙的多孔硅层,有利于减少光反射,增强光吸收。主反应方程式:6HF+SiO2=H2[SiF6]+2H2O工艺过程:上料→制绒→纯水清洗→NaOH→纯水清洗→HF+HCl→纯水清洗→

4、纯水清洗→欲脱水→隧道烘干→下料工艺卫生基本点:1.保证装片操作台面的清洁;2.装片时戴好一次性薄膜手套和口罩,保证遮住口鼻;3.一次性薄膜手套每100片更换一次,若有脏污需提前更换,确保不污染硅片以至于影响制绒效果;4.保证水槽以及浓度梯度槽以及各附槽等的洁净状态,及时更换。5.工艺过程中看片必须戴干净的丁晴手套,减少手指印的发生,看完后及时更换手套;6.工艺结束后片子及时投入清洗,或放入水槽待投。知识问答:1,每个槽内换液的周期,和时间点。碱槽、酸槽24小时一次,3、5、7、8、9水槽12小时一次,制绒槽10万片更换一次。2,液用完后如何确保连续生产,员工如何知道液用完。液用完

5、后立即进行更换,员工在生产当中会根据报警信息的内容,告之工序长。3,物料员关于目前化学品如何领用,区分,管理。物料员是根据少量多次,单一品种,双人领用和专用领料车并佩戴防护用品,按酸碱和易燃易爆化学品不能储藏在同一贮藏室的原则实行分开和专人管理。4,上下道碎片如何区分,区分的作用。制绒上道和下道的碎片是分开记录,分开包的。上道的碎片是原装碎、隐裂、缺角、崩边等它是制绒前碎片。下道碎片是经过制绒后的碎片,一般是机碎,隐裂或人为造成的。它们区分的作用是:便于回收。5,设备故障达到什么程度需要向上汇报。因设备故障3分钟内不能处理,立即通知设备和领班。达到半小时后要通知生产副总,超过1个小

6、时通知总经理。6,如果不合格片退库,手续如何办理?如果因原材料硅片不合格,异常缺陷,首先保护好现场,然后找巡检过来拍照取证,把材料交给领班,由领班收集,由领班和巡检交涉退库事项后,待结批完成后统一退库。7,清洗间每条线每个班要求的产量,在制品要求的上下限,工艺允许在制品的等待时间是多长。清洗间每条线每个班按照生产计划单投料,在制品的上限是6张流程卡,但如有特殊情况,根据情况来逐量增加,工艺允许在制品的等待时间是越短越好。8,减薄量的控制工艺要求:0.35~0.45g9,制绒后绒面观测比较步骤:取较大碎硅片,过清洗线四次,并用显微镜观察绒面状况。结果:未过清洗线的硅片表面无绒面,随着

7、清洗次数增加绒面越大。扩工艺目的:形成P-N结。散主反应方程式:POCl3在高温下(>600℃)分解生成五氯化磷(PCl5)和五氧化二磷(P2O5):5POCl3=3PCl5+P2O5在存在O2的状态下PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气(Cl2):4PCl5+5O2=2P2O5+10Cl2故,在有O2的存在时,POCl3热分解的总反应式为:4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2P2O5在扩散温度下与硅反应,生成二氧化硅(SiO2)和磷:2P2O5+5Si=5

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