氧化铝陶瓷基片的金属化及共烧工艺研究.pdf

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2、．材料工趕■研究方向：先进陶瓷及《孔材料．－、；２０论若壳成日淵１５年４月．＇Ｖ＇？．，Ｖ：．．？．、－Ｖ．．．．．．＞■？．—．独创性声巧本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研充工作及取得的。研巧成果尽我所知，除了文中特别加示注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得山东理工大学或其它教一育机构的学位或证书而使用过的材料。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。

3、■时间研究生签名：主备词：加处年＾月／Ｔ日关于论文使用授权的说明本人完全了解山东理工大学有关保留、使用学位论文的规定，目Ｐ：学校有权保留送交论文的复印件和磁鹿，允许论文被宵阅和借阅；学校可ｙ■用不同方式在不同媒体上发表、传播学位论文的全部或部分内容，可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存。、汇编学位论文（保密的学位论文在解密后应遵守此协议）研巧生签名：时间：與（Ｉ年月日齡（（Ｉ巧师签名时间：〇ＤＶ年６月ｎ［。《学位论文出版授权书》本人完全同意《中国优秀博硕±学位论文全文数据库出版

4、章程》（斟下简称＂＂＂＂）（光盘版）电子杂志社章程，愿意将本人的学位论文提交中国学术期刊在《中国优秀博硕±学位论文全文数据库》中全文发表。《中国优秀博硕：ｔ学位论文全文数据库》可切Ｗ电子、网络及其它数字媒体形式公开出版，并同意编入《中園知识资源总库》，在．《中国博硕±学位论文评价数据库》中使用和在互联＂＂网上传播。，同意按章程规定享受相关权益－Ｗｆ导师签名作者签名；ｉ；诚冰年月円从作年月日＾＿：｝学号１０４：３３：？／＂巧彷所在院系輸獲啥表｜ＩＩ衬拌科１山东理工大学硕士学位论文摘要

5、摘要陶瓷/金属复合材料具有良好的导电、导热性，耐高温性和较高的机械强度，在混合集成电路和真空电子器件中具有广泛的应用，但是金属与陶瓷的连接较为困难，因此，本文主要就氧化铝陶瓷的金属化工艺及其与金属化浆料的烧结匹配性进行了研究。本文通过流延法制备了氧化铝陶瓷基片，并确定了其制备的工艺参数；通过对金属化浆料的组成和性能以及丝网印刷工艺的研究，确定了金属钨浆料的最佳粘度值和丝网印刷的最优工艺条件；通过对陶瓷基片和钨金属粉的热分析，确定了优化脱脂制度和烧结最高温度，并对产品的性能进行测试分析。氧化铝陶瓷基片流延成型工艺中，浆料固含量

6、为73-75wt%，粘度在1-1.5Pa·s之间，符合流延最佳粘度条件；流延温度控制在30±0.5℃范围内，储料槽中液位高度控制在20±2mm范围，制得的氧化铝生坯片表面平滑，无宏观缺陷。通过对钨金属浆料的性能和丝网印刷工艺参数的研究得：钨金属浆料固含量为80%时，粘度值为110Pa·s，符合丝网印刷要求的粘度范围100-300Pa·s；丝网印刷采用离网间距为1.75mm、刮刀角度为65°、刮刀歪度为20°的工艺，可以得到表面平整，边缘清晰，无空隙，厚度均匀的金属化层图案。通过对氧化铝陶瓷基片和钨金属粉的热分析，确定脱脂温度

7、制度为：室温以1℃/min的升温速率至350℃，其中215℃和350℃各保温15min，再以1.7℃/min升温至600℃，600℃保温10min。脱脂气氛采用氮气保护的湿氢气气氛，避免金属钨被过度氧化。采用1550℃的烧结温度，氧化铝陶瓷和钨金属化层结合紧密，烧结致密，样品达到致密性要求。氧化铝基片烧结收缩率为16.5%，添加还原钨粉后，钨金属化层的烧结收缩率为13.8%，共烧后基本相匹配，无明显缺陷；实验测得试样的方阻小于0.05Ω/□，符合厚膜导体浆料导电性能的标准。关键词：氧化铝陶瓷基片；流延成型；金属化；丝网印刷；

8、高温共烧I山东理工大学硕士学位论文AbstractAbstractCeramic/metalcompositematerialnotonlyhasgoodelectricalandthermalconductivities,butalsohasheatresistanceandhighme