氧化铝陶瓷基片材质和加工工艺的研究

《氧化铝陶瓷基片材质和加工工艺的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、摘要氧化铝陶瓷基片是电子信息产业广泛应用的基础材料，其生产的关键技术是高质量坯片的成型。国内外工业生产大多采用轧膜法、热压铸法和有机料浆流延法等方法制备，普遍存在设备投资大、原材料成本高和环境污染大的问题。所以，对氧化铝陶瓷基片的成型及加工工艺的研究具有十分重要的意义。在对凝胶注模成型工艺研究的基础上，将其发展创新为一种新型的制各高性能陶瓷材料的成型技术⋯～．胶冻成型方法。重点研究了氧化铝陶瓷稳定料浆的制备、成型工艺、烧成工艺、陶瓷基片的显微结构及电性能。在料浆的制备过程中，研究了料浆的固相含量、pH值、分散剂等因素对料浆性能影响。结果表明，当料浆固相含量为54v01％时，料

2、浆的分散性最好，粘度最低，在pH值约为9时，有机单体占陶瓷粉体的4、vt％，料浆分散性和稳定性最好，分别以PMAA-Na和PMAA埘H4为分散剂，其最佳值分别是0．45讯％和0

3、4叭％，发现PMAA-Na的分散效果远远好于PMAA—NH4，它可以使球磨时问从PMAA．NH4的12小时迅速降低到2小时，证实PMAA．Na具有良好的分散性和稳定性，最终研制出了固相含量高达54v01％的分散性和稳定性好的浓悬浮体。在成型工艺过程中，研究了料浆pH值、成型温度、引发剂等对聚合反应的影响；成型时间、成型模具、不同粉体粒径等对工艺过程的影响以及分散剂、固相含量对坯体强度和显微结果的影响。

4、结果表明，在pH值约为9，成型温度为60～70℃，成型时间30min以内，在玻璃模具中成型，120目筛下q—A1203粉，可制得坯体强度高达78MPa以上、密度分布及收缩均匀的坯体。发现干燥后的坯体遇水浸泡二十分钟以后，坯体又具有了良好的柔韧性，可进行切削加工，当它被干燥后又变硬，这种性质能重复多次。在烧成工艺过程中，确定烧成温度1600℃、保温2h、固相含量54vol％时，得到的烧结体体积密度最大，均匀性最好。得到96～203基片配方为：以a．A1203为基料，加入MgO0．33州％、Si023．33州％、CaF2O．37谢％、Y203O．05、vt％。可制得烧结体抗折强度

5、达295加Pa，介电常数f25℃，lMHz)达6．1的陶瓷基片。关键词：氧化铝；陶瓷基片；胶冻成型；浓悬浮体；电性能河北理1人学硕士学位论文AbstractAhm!linacer锄icssubstrateist11e±oundationmaterial1ntheelec仃Dnintbnnatlonindumywithabroad印plied，thekeytechniqueismoldingoftllehi曲qual蚵c哦吼icsubs眦惦．Theindustryproductionisrol王velummet}lod，heatdie—castingandmaterialnow

6、memoda11over廿1eworld，ithaveproblems谢mubiquityequipmentinvestgreat，mwandprocessedmaterialshi曲，conditionp01lutionect．So，“hasmajnmeaningwitllresearchaboutfomlingprocessajldmoldingofa王uminaceramicssubstfate．Onmefo删onofpesearcllinggela痂岫ecIionmolding，anewoms协ndmgc蹦嘣cmoldillgtecIlrlolog)r～胁Zencol

7、loidmoldiIlgmelhodisdeveloped，州ch妇usonmepfl≈黝ti伽ofAl瑚血啪ce聊面cssta_bleSlIlrfy，moldillgm出0d，hea硒岛micro—s咖c嘁ofcc姗icss曲s岫leandelecmcalplq)erties．0tl血cp唧a厕onofsIuⅡy，血e唧icinvolvesin血eⅫuenceofs0Iidcon咖kpHVa王ue，disp呱ngmollomer，orga血cma曲er，balImmingdme，鼬ctosll坩节pfoper哆．There跚血协dic鼬esⅡKntlleslunydispe

8、rseswdlandviscosi够istIle】o、wstwhenme剃dcontemis54、d％．Wh饥pHValueisabout9，itsdispdvi哆a11dstabilityisthebeSt．111eofgatljcⅡlonomer0ccupi嚣妞cer枷cpowderbody4wt％．Respe曲velytakiI】gPMAA-Na趾dP~姒加{4asmedispers啦monomer，“sbe或valueisO．45砒％and0．4、vt％PMAA埘ais缸900dtoPMAA—N