大气压低功率表面波等离子体射流的研究.pdf

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1、分类号：ＴＭ８５单位代码１０３６１：安反这工犬＃？液ＡＮＨＵＩＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＳＣＩＥＮＣＥ＆ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ０二｜｜‘Ｉｌ：＂■＾ｉ：＾＇＊■＜＞＞？＿Ｘ、‘二、達？？－？‘？、－：：．＞．ｉ．－－言、：＿、论文题目：大气压低功率表面波等离子体射流的研究作者姓名：丘汉标专业名称：电气工程导师姓名：陈兆权副教授完成时间：２０１７年６月２日：中图分类号：ＴＭ８５论文编号

2、学科分类号：４７０．４０３４密级：公开安徽理工大学硕士学位论文大气压低功率表面波等离子体射流的研究丘汉标作者姓名：—＾专业名称：电气工程研究方向：大气压气体放电的机理及应用研究＿导师姓名：陈兆权副教授安徽理工大学导师单位：答辩委员会主席：张毅论文答辩日期：２０１７年６月２日安撖理工大学研究生处２０１７年６月１２日ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎｉｎＳｔｕｄｙｏｎＭｅｃｈａｎｉｓｍａｎｄＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＡｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃＧ

3、ａｓＤｉｓｃｈａｒｇｅ－ＳｔｕｄｙｏｎｔｈｅａｔｍｏｓｈｅｒｉｃｒｅｓｓｕｒｅｌｏｗｐｏｗｅｒｓｕｒｆａｃｅｗａｖｅｐｐｐｌａｓｍａｅｔｊＣａｎｄｉｄａｔｅ：ＱｉｕＨａｎｂｉａｏＳｕｅｒｖｉｓｏｒ：ＣｈｅｎＺｈａｏｕａｎｐｑＤｅａｒｔｍｅｎｔｏｆｅｌｅｃｔｒｉｃａｌａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｅｎｉｎｅｅｒｉｎｐｇｇＡｎＨｕｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｈｕａｉｎａｎ．Ｒ．Ｎｏ１６８ＴａｉｆｅｎｇＲｏａｄ２３２００

4、１，ＰＣＨＩＮＡ，，，独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方以外，论文中不包含其他人巳经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得安徽理工大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料一。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。＾学位论文作者签名：ｎｉａＭ．日期：７１１年／月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解安徽理工大学有保留、使用学位论文的规定，即

5、：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产杈单位属于安徽理工大学。学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授杈安徽理工大学．可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以釆、用影印、缩印或扫描等复制手段保存、！：编学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）学位论文作者签名：签字日期年细Ｚ曰导师签名签字日期年２ｓ０＾／月／，摘要摘要与低压微波等离子体相比，大气压微波等离子体有许多独特的优点，：例如密度大、活性高及生产装

6、置简单等，。因此大气压微波等离子体在实际生产应用和科学研究中获得广泛的关注。然而，在大气压条件下，流注放电为微波放电的常见表现形式，，因此在这样的环境下为了获得理想的微波放电需要提供很高的激发入射功率，基于此，大气压微波放电的实现代价较高，实际应用较困难。针对大气压低功率微波放电难于实现的科学技术难题，以大气压低功率表面波等离子体（ＳＷＰ射流为研究对象，釆用等离子体与微波相互作用的共振親合放电方法，）借助表面波等离激元（ＳＰＰ）局部加强电场便于触发气体放电的优越性，研宄ＳＰＰ激励ＳＷＰ射流放电机制。

7、通过构建放电实验，诊断放电过程，，辅以数值模拟分析得出ＳＰＰ激励ＳＷＰ射流的放电机理。本文将揭示大气压低功率微波ＳＷＰ射流的电离发展过程，解释大气压微波流注气体放电的时空物理参量演变机制。本文的主要研究内容总结如下：一一１．首先，微波放电是种相对较新的技术，它需要科研工作者具备些微波一些基本概念工程和等离子体工程的相关知识。所以先介绍微波放电理论中的，然后研究探讨现有的各种类型的等离子体发生装置。因为了解这些现有等离子体源的优点和问题，有助于新型等离子体源的开发和设计。２．其次，由于微波放电的不

8、稳定性，以及微波放电的影响因素至今还未研究透彻，对于如何在大气压条件下开发大规模、高效节能、均匆的微波等离子体仍有待研究。因此，本文设计了三种类型的同轴谐振器，并获得了２．４５ＧＨｚ共振频率的微波，。然后向谐振器通以流动的氩气在只有５Ｗ的微波驱动功率下分别在