现代真空获得设备.ppt

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1、真空获得设备主讲人：张以忱东北大学真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程真空：在给定的空间内，气体分子密度低于一个标准大气压的气体状态。真空泵性能的表示方法：1）极限压力2）抽气速率3）流量真空泵的分类：1）气体输送泵（1）变容积真空泵：液、油封式机械泵，干式真空泵，罗茨真空泵；（2）动量传输式真空泵（分子真空泵，喷射真空泵，扩散泵）。真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程一、引论真空泵的技术术语和适用范围术语：启动压力；前级压力；最大前级压力；最大工作压力；压缩比；何式系数；抽气系数；返流率；水蒸气允许量；最大允许水蒸

2、气入口压力。各种真空泵工作压力范围真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程2）气体捕集泵：吸附泵；低温泵。真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程表1－1各种真空泵的工作压力范围真空泵在真空系统中的作用主泵粗抽泵3前级泵维持泵5增压泵具体见抽气系统流程图真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程主泵真空容器储气罐前级泵（粗抽泵）维持泵增压泵高真空抽气系统原理流程图二、液环式真空泵2.1液环泵的工作原理及特点真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程（a）单作用式液环泵（b）双作用式液环泵A－吸气口；B－排

3、气口；C－间隙；单作用液环泵抽气（能量转换）过程：真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程前180°：小腔容积由小→大，压力降低，与吸气口相通，吸气；吸气终了时，小腔与吸气口隔绝，且应尽量保证此时小腔容积为最大。水从叶轮获得能量（动能），被加速。水甩出后具有与叶片端点切线速度相近的速度；而且在前半周，由于吸入的气体压力基本稳定，因此，水环各点速度近似相等。图2－1液环泵工作原理图能量转换2后180°：小腔容积由大→小，压缩气体，直到小腔与排气口相通，排气；水的速度下降，将动能转变成压力能（势能），来抵抗由于小腔容积变小而导致的气体压力

4、增加。图2－1液环泵工作原理图真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程2.2液环泵的基本类型与结构2.2液环泵的基本类型与结构2.2.1基本类型1）单级单作用液环泵:单级叶轮每旋转一周，吸气排气各进行一次。抽气效率较低。2）单级双作用液环泵：单级叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行两次。抽气效率较高。3）双级液环泵：由单级单作用泵串联而成。4）气体喷射泵＋液环泵机组：可以提高低压下的抽速，扩大了液环泵的使用范围。图2－3水环泵的结构图2.2.2液环泵的基本结构真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程BACK内部进气口和排气口的改

5、进(*最重要的改进)锥体泵：采用上部进气和下部排气的结构四、旋片式真空泵4.1概述真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程旋片式油封机械泵（旋片泵）为一种变容式气体传输真空泵，是真空技术中最基本的真空获得设备之一。其工作压力范围为101325～1.33×10－2Pa，属于低真空泵。可以单独使用，也可以作为其他高真空泵的前级泵，用以抽除密封容器中的干燥气体。若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝气体。旋片泵不适于抽除含氧过高、有爆炸性的、对金属有腐蚀性的、与泵油会发生化学发应的、含有颗粒尘埃的气体。4.2.1工作原理旋片把转子、泵体、端

6、盖形成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分。若转子按图中箭头方向旋转时，A空间容积增加，压力降低，气体经泵入口被吸入，此时处于吸气过程；B空间的容积减小，压力增加，处于压缩过程；C空间的容积进一步缩小，压力进一步增加，当压力超过排气压力时，压缩气体推开泵油密封的排气阀，处于向大气的排气过程。在泵的连续运转过程中，不断进行吸气、压缩和排气过程，从而达到连续抽气的目的。旋片泵工作原理图真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程4.2旋片泵的工作原理与结构特点1－泵体；2－旋片；3－转子；4－弹簧；5－排气阀真空获得设备东北大学首期《真空技术》

7、培训班系列教程旋片泵工作原理图BACK1－滤网；2－进气管；3－压板；4－排气阀；5－旋片；6－弹簧；7－转子；8－放油螺塞；9－油标；10－排气孔；11－皮带轮；12－轴端密封圈；13－气道真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程图4－22X型旋片泵结构简图BACK旋片泵在结构上可分为油封式和油浸式两大类。油封式结构是指油箱设置在泵体上，泵油起到密封排气阀的作用，泵体靠水冷或风冷。一般大泵多采用这种结构形式。油浸式结构是将整个泵体浸在泵油中，泵油起到密封和冷却作用。小泵和直联泵多采用这种结构。旋片泵结构简图真空获得设备东北大学首期《

8、真空技术》培训班系列教程真空获得设备东北大学首期《真空技术》培训班系列教程Ⅰ－高真空级；Ⅱ－低真空级；1－中间辅助排气阀；2－通道；3－低真空级排气阀