真空获得论文

《真空获得论文》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、教学单位物理与信息技术系学生学号200991014041编号WL2013WL041応趙$驱学叹本科毕业论文题0学生姓名专业名称指导教师真空获得任妍物理学岳喜成2013年4月12口真空获得摘要：“真空”泛指低于一个人气压的气体状态，也就是同正常的人气压相比是较为稀薄的一种气体状态，这种气体状态具有一系列新的特点被广泛的应用于工业生产等各个领域。因而获得真空状态尤为重要，现今用來获得真空的真空泵主要有两人类，压缩型真空泵（旋转式机械泵、蒸汽流喷射泵）和吸附型真空泵（低温吸附泵、溅射离子泵）。同时获得了真空的状态，还需要对真空度进行测

2、量，也就是真空规的学习，这篇论文是对真空泵以及真空规的研究。关键词：真空技术；旋转式机械泵；蒸汽流扩散泵；低温吸附泵；溅射离子泵VacuumtoobtainAbstract:"Vacuum^referstounderoneatmosphericpressureofthegasstate,whichiscomparedwithnormalatmosphericpressureisrelativelythin,astateofgas,thegasstatehasaseriesofnewfeaturesarewidelyusedini

3、ndustrialproductionandotherfields,isparticularlyimportantandthusobtainavacuum,avacuumpumpismainlyusedforvacuumhastwokindsbig,compressiontypevacuumpump,(rotarymechanicalpumpandsteamjetpump)andadsorptiontypevacuumpump(lowtemperatureadsorptionpump,sputterionpump)•Atthes

4、ametime,thevacuumstate,alsoneedtomeasurethevacuumdegreeofvacuumgauge,islearning,thispaperistostudythevacuumpumpandvacuumgauge.Keywords:vacuumtechnology;Rotarymechanicalpump;Thesteamflowdiffusionpump;Lowtemperatureadsorptionpump;Sputteringionpump—・正文：1真空获得概述12真空泵22.1旋

5、转式机械真空泵22.2蒸汽流扩散泵42.3低温吸附泵62.4钛升华泵72・5涡旋分子泵102.7其他真空泵113真空测量12参考文献15谢辞16:告告告录报报报附题题辩、开结眷二1.2.3.17181真空获得概述电真空技术对于真空工业、尖端科学及其其他领域都有重要的作用，比如真空技术在原子能、宇宙航行及空间科学研究、表面物理研究、微电子学以及真空冶金等方面都迅猛发展，真空技术除了作为基础工艺，基础设备起了关键性的作用，还常常牵扯到一系列物理现象的研究。至于真空技术在一般工业中的应用，更是种类繁多，不胜枚举。例如有机物的真空蒸馆、

6、分子蒸帼、真空成形，以及某些金属的真空蒸谓，涉及化学工业、医药工业、制盐制糖工业、食站工业、电机工业等各个领域，应用极为广泛，因而获得真空技术至关重要。用来获得真空的器械被称Z为真空泵，冃前在真空技术屮，采用各种不同的方法，已经能够获得和测量从大气圧力1()5化到10一门几，宽达18个数量级的压力范围。显然，只用一种真空泵，获得这样宽的低压空间的气体状态，是十分困难的。真空泵按照其工作原理可以分为两大类：压缩型真空泵和吸附型真空泵。压缩型真空泵是将气体由泵的入口端压缩至出口端，而吸附型真空泵则是利用各种吸气作用将气体吸掉，在这类

7、泵屮气体分子并不排出泵外，而是被暂时或永久地贮存于泵内。任何的真空泵，在工作时除了抽气作用，总是伴随着出现一些破坏抽气的效应。例如气体被压缩后要反扩散；分子被吸附后还会脱附等。只有在抽气作用强于破坏抽气的因素时，泵才能有效的工作，因此每种泵都有它自己的有效运用压强范围及固有的特点。我们在研究各种真空泵的性能时，必须知道各种真空泵的基本参数，其屮最主要的参数有如下几点：1、抽气速率S：它的定义是在泵进气口处，在任意给定的压强下，单位时间内流入泵的气体体积数，即AVIArIp=pl式中：应&时间内从泵进口流入泵的气体体积数;P1在测

8、定该气体体积时的进口压强。则有单位时间内流入泵内的气体量Q：Q=SP或2、极限压强#泵对一个不漏气、不放气的容器抽气时，经过足够长时间的抽气所能达到的最低平衡用强。3、最大工作压强：泵能正常工作的最高压强，如压强超过此值，泵将失去抽气能力。4、运用范围：指泵能具