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时间:2020-03-06
《Zn、Cu掺杂AlN纳米结构的制备及发光性能的研究.pdf》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
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2、structure研巧生巧名张伟博学科?凝聚态物理1、专业物理学;?^'研巧方向半导体光电材料诗.1J,?,学位级别硕±导师姓名、职称吴志国副教授文了作賴S鱗人起止年月2012年9月至2015年6月與片论文提交日期2015年4月论文答辩日期2015年5月学位授予日期,、片—;巧.f;簡概:甘肃省兰州市/#决备.為哉%.’;嘗-讀银振義眷如V於續齡;、;)遞辑款,^_蒙八於,,.;.赫取资轿八原创性声明本人郑重声明:本人所呈交的学位论文,是在导
3、师的指导下独立进行研究所取得的成果。学位论文中凡引用他人己经发表或未发表的成果、数据、观点等,均己明确注明出处。除文中己经注明引用的内容外,不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究成果做出重要贡献的个人和集体,均己在文中W明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名.文等:珠冷4日親刘支I关于学位论文使用授权的声明本人在导师指导下所完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属兰娜大学,。本人完全了解兰州大学有关保存、使用学位论文的规定同意学校保存或向国家有关部口或机构送交论文的纸质版
4、和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权兰州大学可iii将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可^1^采用任何复制手段保存和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该论文直接相关的学术论文或成果时一,第署名单位仍然为兰州大学。本学位论文研巧内容:□可公开□不宜公开,已在学位办公室办理保密申请,解密后适用本授权书。上选项内选择其中一""(请在W项打V)论文作者签名:导师签名:朵公句日期:方日期:7^1^.r.3/Zn、Cu渗杂AIN纳米结构的制备及发光性能的研究中文摘要A1N作为
5、第H代半导体材料的代表,其6.2eV的特宽带隙使其在发光器件的应用方面引起了人们极大的关注。但是,由于制备A1N材料较困难,所需的条件较严苛,因此限制了它的发展。同时,为了提高A1N材斜的性能,通常对其。慘杂不同的元素,来满足不同方面的需求本文采用CVD的方法,通过改变实验中的可控参数,获得了A1N最佳的生长条件。同时研巧了对A1N慘杂不同的。:元素时,其形貌和性能的变化主要的研巧内容如下(1)无水氯化轉为惨杂源制备Zn渗杂A1N样品。与未惨杂样品相比,Zn的合入促进了A。PL光谱显示,样品1N的表面扩散但却抑制了其纵
6、向生长速度在紫外光区展现了很好的发光性能。将样品在高温下进行退火处理,所得PL光谱证明272nm的发光峰与Zn有关。通过改变NH3流量,发现30sccm流量值下,样品具有最高的结晶度和发光强度,Zn渗杂量的改变影响了与。同样的条件下氧相关的缺陷能级,改变了峰之间的相对强度。(2)纳米锋粉为渗杂源制备Zn渗杂A1N样品。生长温度显著的改变了纳米结构的表面形貌和尺寸。Zn的渗杂引入了新的缺陷和杂质能级,在紫外区有效的调节了。A1N的发光波长,同时导致峰位和峰的相对强度发生改变而Si片的放置角度也影响了Zn的渗杂,平行放置更有利
7、于Zn的合入。(3)无水CuCk为渗杂源制备Cu慘杂AIN样品。样品在可见光波段表现出了良好的发光性能。探讨了生长温度、惨杂量、NHs/Ar流量比对样品的形貌和发光的影响。生长湿度和MVAr流量比对Cu的渗入起了重要的作用。当Cu渗杂量比较大时,样品中出现了合金相AlCu,导致晶体中铅空位增多,进而影响了各个发光峰之间的相对强度。关键词:纳米结构,惨杂改性,光致发光ISnthesisandhotoluminescenceofZnCudoedAINyp,pnanostructureAbstradAs
8、therereseeoftthireioofsemicondtormria
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