Zn、Cu掺杂AlN纳米结构的制备及发光性能的研究.pdf

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2、structure研巧生巧名张伟博学科?凝聚态物理1、专业物理学;?^'研巧方向半导体光电材料诗.1J,?,学位级别硕±导师姓名、职称吴志国副教授文了作賴S鱗人起止年月2012年9月至2015年6月與片论文提交日期2015年4月论文答辩日期2015年5月学位授予日期,、片—;巧.f;簡概:甘肃省兰州市/#决备.為哉%.’;嘗-讀银振義眷如V於續齡;、;)遞辑款,^_蒙八於,,.;.赫取资轿八原创性声明本人郑重声明:本人所呈交的学位论文,是在导

3、师的指导下独立进行研究所取得的成果。学位论文中凡引用他人己经发表或未发表的成果、数据、观点等,均己明确注明出处。除文中己经注明引用的内容外,不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究成果做出重要贡献的个人和集体,均己在文中W明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名.文等:珠冷4日親刘支I关于学位论文使用授权的声明本人在导师指导下所完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属兰娜大学,。本人完全了解兰州大学有关保存、使用学位论文的规定同意学校保存或向国家有关部口或机构送交论文的纸质版

4、和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权兰州大学可iii将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可^1^采用任何复制手段保存和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该论文直接相关的学术论文或成果时一,第署名单位仍然为兰州大学。本学位论文研巧内容:□可公开□不宜公开,已在学位办公室办理保密申请,解密后适用本授权书。上选项内选择其中一""(请在W项打V)论文作者签名:导师签名:朵公句日期:方日期:7^1^.r.3/Zn、Cu渗杂AIN纳米结构的制备及发光性能的研究中文摘要A1N作为

5、第H代半导体材料的代表,其6.2eV的特宽带隙使其在发光器件的应用方面引起了人们极大的关注。但是,由于制备A1N材料较困难,所需的条件较严苛,因此限制了它的发展。同时,为了提高A1N材斜的性能,通常对其。慘杂不同的元素,来满足不同方面的需求本文采用CVD的方法,通过改变实验中的可控参数,获得了A1N最佳的生长条件。同时研巧了对A1N慘杂不同的。:元素时,其形貌和性能的变化主要的研巧内容如下(1)无水氯化轉为惨杂源制备Zn渗杂A1N样品。与未惨杂样品相比,Zn的合入促进了A。PL光谱显示,样品1N的表面扩散但却抑制了其纵

6、向生长速度在紫外光区展现了很好的发光性能。将样品在高温下进行退火处理,所得PL光谱证明272nm的发光峰与Zn有关。通过改变NH3流量,发现30sccm流量值下,样品具有最高的结晶度和发光强度,Zn渗杂量的改变影响了与。同样的条件下氧相关的缺陷能级,改变了峰之间的相对强度。(2)纳米锋粉为渗杂源制备Zn渗杂A1N样品。生长温度显著的改变了纳米结构的表面形貌和尺寸。Zn的渗杂引入了新的缺陷和杂质能级,在紫外区有效的调节了。A1N的发光波长,同时导致峰位和峰的相对强度发生改变而Si片的放置角度也影响了Zn的渗杂,平行放置更有利

7、于Zn的合入。(3)无水CuCk为渗杂源制备Cu慘杂AIN样品。样品在可见光波段表现出了良好的发光性能。探讨了生长温度、惨杂量、NHs/Ar流量比对样品的形貌和发光的影响。生长湿度和MVAr流量比对Cu的渗入起了重要的作用。当Cu渗杂量比较大时,样品中出现了合金相AlCu,导致晶体中铅空位增多,进而影响了各个发光峰之间的相对强度。关键词:纳米结构,惨杂改性,光致发光ISnthesisandhotoluminescenceofZnCudoedAINyp,pnanostructureAbstradAs

8、therereseeoftthireioofsemicondtormria

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