光栅—金属电介质复合结构的超分辨SPs光刻特性研究.pdf

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2、，Ｖ＇？。＇＇滅产惠幻＇巧扣狂；品－＇＇护满读挺汲Ｗｆ取．＇＇＇．ｉ巧山如，松＃择ｉｆ；痴ｋ羣薄＇■掉讀證适：靖驾强安，＇＇＇＇：：ｙ‘．＇；＇．；ｘ＼顧舊净ｆ早：ｉ寬：＇．．ｆ争；．＇‘．．．点．．．．＇不—＂巧該单位代码：１０３５９密级：公开学号：２０１２１１０９７２分类号：０４３Ｈｅ化ｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ硕±学位论女ＭＡ＾ＳＴＥＲＳＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ论文题目－：光栅余属由介质复合结构的超分辨ＳＰｓ光刻特性研究＇．．

3、：学历硕壬学位类别Ｉ学工稻专业名称：光作者姓名：王冠君导师姓名：規继刚副教授５年４月完成时间：２０１合肥工业大学学巧硕±学位论文光栅－金属电介质复合结构的超分辨ＳＰｓ光刻特性研究作者姓名：王冠君指导教师：胡辦刚副教授学科专业：光学工程：微纳光子学研究方向２０１５年４月ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉｔｔｅｄｆｏｒ化ｅＤｅｒｅｅｏｆＭａｓｔｅｒｇＲｅｓｅａｒｃｈｏｎｓｕｅｒｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎＳＰｓｈｏｔｏｌｉｔｈｏｒａｈｂａｓｅｄ

4、ｐｐｇｐｙ－ｏｎｔｈｅｒａｔｉｎｍｅｔａｌ／ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃｍｕｌｔｉｌａｅｒｍｅｔａｍａｔｅｒｉａｌｓｇｇｙＢｙＷａｎｇＧｕａｎｕｎｊＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙＨｅｆｅｉＡｎｈｕｉＲＲ．ａＣｈｉｎ，，ＡｐｒｉＬ２０１５合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业大学学历硕±学位论文质量要求。答辩委员会签名、姓名）（工作单位、职称主席；中科院安徽光学精密机械研究所研究员委员：合肥工业大学教授」合肥工业大学副教授合

5、肥工业大学副教授导师：换间合啼巧＾獻後师学位论文独创性声明本人郑重声明：所是交的学位论文是本人在导师指导下进斤独立研究工作所取得的成果。掘我所知，除了文中特别加标注和致谢的内容外，论文中不包當其他人已经发表或撰写过的研巧成果，也不巧含为获得合肥工业大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，本人己在论文中作了明滿的说明，并表示谢廬，学位论文中表达的观点纯厲作者本人观点，与合服工业大学无关。：学位论文作者签名签名日期：年日斗月／／学位论文版权使用授权书本学位论义作者完全了瞄

6、合肥工业大学有关保留、使用学位论文的规定；，即除保密期内的涉密学位论文外，学校有权保存并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子光蟲，允许论文被查閲或借阅。本人授权合肥工业大学可Ｗ将本学位论文的全部或韻分内容编入有关数据库，允许采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论义。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）学位论文作者签名指哥教师签名；郑健轉＾月曰签名曰期：月签名曰期主年广年／曰Ｗ４／／４。！论文作者毕业去向工作单位：－ｍ联系电话：Ｅａｉｌ：通讯地址：邮政编码：致谢时光如梭一，转眼

7、间Ｈ年的研巧生即将吿段落，很庆幸自己能够来到工大这所美丽的校园，在这里结识了很多志趣相投的同学，收获了真正意义上的工作和爱情。首先，我要诚擎地感谢我的导师胡继刚老师，本论文是在胡老师的孜孜不倦地教导下完成的。在整个硕±学习期间，胡老师不但竭力教诲我，同时还身体为行Ｗ身作则，尤其是胡老师的孜孜不倦和兢兢业业的科研精神，成为我源源不断的学习动力。其次，我还要感谢任蹈师弟对文中涉及到的大量的公式计算和图像处理方面的帮助，；最后还要感谢高伟清老师和张维老师他们在我找工作的过程中提供了许多宝贵的经验和建议，同时还在平时的生

8、活和学习上给予了很多的关也与帮助、。这里我再次对所有在我研巧生学习期间关屯、帮助与支持过我的人表示最由衷的感谢！