微电子联合实验室 - 中国科学院国际合作局.doc

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1、微电子联合实验室合作单位：中国科学院微电子研究所香港科技大学实验室主任：叶甜春研究员单建安研究员一、背景介绍半导体工业已迅速发展成为现代国家的支柱工业，鉴于微电子工艺对中国未来经济的重要性，中国科学院和香港科技大学双方共同定于1996年建立微电子联合实验室。联合实验室确定前期在0.1至0.35微米工艺技术及电路设计领域中遴选合作研究课题。双方选择上述领域中具重大应用前景的课题，从而开展基础和应用研究。随着时间的推移，联合实验室合作更加密切，研究方向更加明确。二、研究目标1.研究纳米CMOS器件新结构、新材料、新工艺技术；2.研究单电子、量子、分子电子器件及基于自组装等纳米加工技术的新型纳米器件

2、结构、工艺及相关的物理基础。3.研究卫星导航定位接收系统芯片：主要研制可兼容各种卫星定位系统的多模式导航定位芯片，通信导航一体化接收机芯片，高动态接收机芯片无线通信与多媒体SOC芯片：4.研究基于软件无线电技术的多核DSPSOC芯片；5.研究GaN、SiC等宽禁带半导体器件与电路，包括各种射频微波功率器件、电路及模块；6.研究基于SOI材料的高速、高性能电路，开发成套SOI设计技术，工艺模块。7.研究基于EDA工具的集成电路共性技术，开展MPW等集成电路服务。8.研究新一代微电子装备技术，为我国微电子装备自主创新奠定基础。三、合作内容1.基础性研究工作包括：a.小尺寸器件制造技术研究。b.CM

3、P平坦化技术研究。c.碳纳米管作为集成电路中互连及通孔材料研究。2.高技术研究工作包括：a.SOI工艺技术开发研究。b.LNA低噪声放大器的研制。c.适于射频/微波频段的大功率低噪声的深亚微米GaN异质结场效应管的研制。