含硅粉废水回用处理技术.doc

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1、含硅粉废水回用处理技术摘要　　本实用新型公开了一种含硅粉废水回用处理装置，包括废水收集池，废水收集池通过第一输送管路连接至一超滤池，第一输送管路上设有废水泵，超滤池内设有浸没式超滤膜组件，超滤池的底部设有排水口，排水口通过浓缩液泵连接至浓缩液管道;设有一鼓风机用以向超滤池内提供空气;浸没式超滤膜组件的产水口通过一产水泵连接至收集水箱，收集水箱通过一回用水泵送入回用管道;收集水箱与产水泵上游管路之间连接有反洗泵。本实用新型将含硅粉废水经过废水收集池收集调质后，再经过浸没式超滤过滤掉水中的硅粉，产水进入收集水箱，最后回用水泵提升后

2、回用;含硅粉废水回用率约90%，回用水的级别近似自来水，可直接回用给工艺水循环使用系统。　　权利要求书　　1.一种含硅粉废水回用处理装置，包括废水收集池(1)，其特征在于，所述废水收集池(1)通过第一输送管路(11)连接至一超滤池(8)，所述第一输送管路(11)上设有废水泵(2)，所述超滤池(8)内设有浸没式超滤膜组件(3)，所述浸没式超滤膜组件(3)包括PVDF中空超滤膜，所述PVDF中空超滤膜的膜孔径为0.1μm，所述超滤池(8)的底部设有排水口，所述排水口连接有排水管路，所述排水管路上设有浓缩液泵(7)，所述浓缩液泵(7

3、)的出口连接至浓缩液管道;设有一鼓风机(10)用以向所述超滤池(8)内提供空气;所述浸没式超滤膜组件(3)的产水口通过第二输送管路(12)连接至一收集水箱(5)，所述第二输送管路(12)上设有产水泵(4)，所述收集水箱(5)通过第三输送管路(13)上设有的回用水泵(6)送入回用管道;所述收集水箱(5)与所述第二输送管路(12)之间连接有反洗旁路，所述反洗旁路上设有反洗泵(9)。　　2.根据权利要求1所述含硅粉废水回用处理装置，其特征在于，所述产水泵(4)和所述反洗泵(9)交替运行。　　3.根据权利要求1所述含硅粉废水回用处理装

4、置，其特征在于，还包括设置在管道上的管道阀门、压力表和流量表。　　说明书　　含硅粉废水回用处理装置　　技术领域　　本实用新型涉及一种工业废水处理装置，尤其涉及一种含硅粉废水回用处理装置。　　背景技术　　在电子和光伏行业，硅锭切片制作成为晶圆工序中，需要大量纯水进行冲洗，因此产生了含硅粉废水。该废水中含有了相当多的硅粉，且不易沉淀，难以分离。浊度高达80-100NTU，硅粉粒径一般在5-30μm之间。　　目前，对于上述生产中产生的废水的典型处理方法主要有三种，一是絮凝沉淀法，其基本原理为：加入PAC、PAM等药剂对其进行混凝絮凝

5、，然后通过沉淀池沉淀去除，该处理过程中，由于硅粉颗粒粒径很小，很难得到充分分离。二是生物氧化法，其基本原理为：该废水和其他有机废水混合，经过初沉池、活性污泥池、二沉池和浓缩池，最后和污泥一起外运处理，经过该处理，硅粉只是简单被稀释，沉淀到污泥中的量很小，大部分随污水排放了三是平板(或鼓式)浸没式超滤法，让该废水和其他废水混合后，经过平板(或鼓式)浸没式超滤过滤后，进入收集水池，然后进行回用。废水和其他废水混合后，由于和其他物质接触，硅粉浓缩后粘度增加，平板(或鼓式)浸没式超滤膜又得不到充分的清洗，运行成本高且操作十分困难。　　

6、由于电子和光伏行业产生的含硅粉废水，不易沉淀、且和其他化学物质接触反应后变得非常粘稠，这无疑增加了处理的难度，但又由于其具有不含有机物、单独放置性质稳定、成分相对单一的特性，为回用处理提供了较大的空间。　　实用新型内容　　针对现有技术存在的技术问题，本实用新型提供一种含硅粉废水回用处理装置，使用该装置进行废水的处理不仅能够将含硅粉废水回用率提高至90%，而且回用水的级别能够达到近似自来水级别，可以直接回用给工艺水系统，使回用的废水在厂区中循环使用。　　本实用新型提出的一种含硅粉废水回用处理装置，包括废水收集池，所述废水收集池通

7、过第一输送管路连接至一超滤池，所述第一输送管路上设有废水泵，所述超滤池内设有浸没式超滤膜组件，所述浸没式超滤膜组件包括PVDF中空超滤膜，所述PVDF中空超滤膜的膜孔径为0.1μm，所述超滤池的底部设有排水口，所述排水口连接有排水管路，所述排水管路上设有浓缩液泵，所述浓缩液泵的出口连接至浓缩液管道;设有一鼓风机用以向所述超滤池内提供空气;所述浸没式超滤膜组件的产水口通过第二输送管路连接至一收集水箱，所述第二输送管路上设有产水泵，所述收集水箱通过第三输送管路上设有的回用水泵送入回用管道;所述收集水箱与所述第二输送管路之间连接有反

8、洗旁路，所述反洗旁路上设有反洗泵。　　所述产水泵和所述反洗泵交替运行。　　与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：　　本实用新型的工艺思路完全不同于传统的含硅粉废水处理系统，其工艺路线为含硅粉废水经过废水收集池收集调质后，再经过浸没式超滤过滤掉水中的硅粉，产水进入收集水箱，最