多弧离子镀大颗粒的去除及脉冲偏压对膜层特性的影响研究.pdf

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1、ＴＢ＂７９１０３巧：单位代码分类号：２０１４１１０２７８学号：密级：ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ＇ｓ，■二■＿？＇．．＇一－，，ｒ：＇Ｔ；．＇硕ｔＴｐＣＩｒｊＬｈ．、尺ｄ：学位论义Ｍ乂ＳＴＥＲＤＥＧＲＥＥＴＨＥＳＩＳ毎多弧离子辕大颗粒的去除及脉冲偏压ＷＶ论文题肖：对膜层特性的影晌研究学历硕±学位类別：学科专业：流体机械及工程了程领域（）董中林作者姓名：导师姓名：干蜀毅教授充成时间：２〇ｎ年３月。，：著，＇＇．＇刊ｖ．＇：＇八義論該

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3、名：董中林指导教师：干蜀毅教授学科专业：流体机械及工程研究方向：真空、低温工程技术与装备2017年03月ADissertationSubmittedfortheDegreeofMasterStudyonmacroparticlesreductionforMulti-ArcIonPlatingandInfluenceofPulsedBiasonPropertiesofThinFilmByDongZhonglinHefeiUniversityofTechnologyHefei,Anhui,P.R.ChinaMarch,2017合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业

4、大学学历硕士学位论文质量要求。答辩委员会签名（工作单位、职称、姓名）主席：委员：导师：IV学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的内容外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得合肥工业大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，本人已在论文中作了明确的说明，并表示谢意。学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥工业大学无关。学位论文作者签名：签名日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解合肥工业大学有关保留、使用学位论

5、文的规定，即：除保密期内的涉密学位论文外，学校有权保存并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子光盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权合肥工业大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库，允许采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后适用本授权书）学位论文作者签名：指导教师签名：签名日期：年月日签名日期：年月日论文作者毕业去向工作单位：联系电话：E-mail：通讯地址：邮政编码：致谢时光飞逝，我已经在合肥工业大学学习了七个年头,马上就要告别研究生学习生涯,告别校园，走入社会，此时，心中充满了不舍。求学生涯中的辛勤与奋斗，微笑与收获，都化为美好的

6、青春记忆。值此毕业论文完成之际，向所有关心、爱护、帮助过我的人们表示最诚挚的感谢与最美好的祝福。本论文是在导师干蜀毅教授的悉心指导下完成的。三年来，导师渊博的专业知识，严谨的治学态度，精益求精的工作作风，诲人不倦的高尚师德对我影响深远。在导师的指导下，我的学习能力、科研实践能力明显提高，在此，我要向导师干蜀毅教授表示最诚挚的谢意与祝福。在论文写作过程中，张心凤师兄给了我非常大的帮助，他丰富的理论与实践经验给了我很多启发与指导。在此对安徽纯源公司的领导和同事们表示衷心的感谢。教研室的老师们给了我许多学习上的指导和帮助，在此表示对教研室陈长琦、王庆生、王旭迪、王国栋、方应翠等老师的感谢

7、。感谢周佳南、张霖、徐飞、谭昱全、冯驹先、汪祚远等师兄在科研过程中对我的指导和帮助，感谢项经尧、朱爱青、施毅、李琦、赵永恒、易利祥等同学为我的实验测试和学习生活所提供的帮助，感谢杨木师弟在实习期间的大力配合与帮助。能够顺利完成研究生学业，离不开李蕾同学的鼓励与关心，她是我最重要的财富之一，令我获益良多，在此表示衷心的感谢。最后要感谢我的父母在我求学生涯中的默默支持，在此特向他们表示最诚挚的感激！作者：董中林2017年03月01日I摘要多弧离子镀是利用阴极电弧放电蒸发源