平面度误差的测量及数据的处理.pdf

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1、内蒙古工业大学专业综合设计说明书摘要平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值。因此,对平面度误差的测量与评定，在工程实际中显得格外重要。本文介绍了平面度误差的几种测量方法，并且主要介绍了平面度误差的评定方法,提出了采用旋转法、电算法进行数据处理，从而计算出平面度误差。结合实例,建立合理的数学模型，利用MATLABR2014b软件强大的数值计算分析和绘图功能，从而得出最精确的平面度误差测量与数据处理方法，进而可以知道旋转法对于平面度数据处理的优良效果。关键词：平面度误差;测量方法;数据

2、处理;MATLABAbstractFlatnessisreferstothesubstratewiththemacroscopicbumpheightdeviationofrelativeidealplane.Measuredtheactualsurfaceflatnesserroriscomparedwithidealplane,thelinebetweenthetwodistanceistheplanenesserrorvalue.Therefore,theflatnesserrorofthemeasurementandevaluation,seemparticular

3、lyimportantintheengineeringpractice.Thispaperintroducesseveralmeasurementmethodsofflatnesserror,andmainlyintroducedtheflatnesserrorevaluationmethod,putforwardthestudy.thismethod,electricalgorithmisadoptedtoimprovethedata,andtheflatnesserroriscalculated.Combinedwithexamples,toestablishareas

4、onablemathematicalmodel,usingR2014bsoftwareMATLABpowerfulnumericalanalysisandmappingfunction,thusitisconcludedthatthemostpreciseflatnesserrormeasurementanddataprocessingmethod,thencanknowgoodeffectofstudy.thismethodforflatnessdataprocessing.Keywords:theflatnesserror;Measurementmethods;Data

5、processing;MATLAB内蒙古工业大学专业综合设计说明书目录第一章绪论..........................................................................................................................................1第二章平面度误差的MATLAB程序设计及分析........................................................................22.1设计思路之一（旋转法）..

6、.................................................................................................22.1.1旋转法设计理论基础...............................................................................................22.1.2程序流程图........................................................................

7、..........................................32.1.3编写MATLAB程序..................................................................................................42.2设计思路之二（电算法设计）.......................................................................................