XPS分析和软件应用.ppt

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1、X射线光电子能谱（XPS）分析及软件应用报告人：汪鹏环境学院1.XPSX射线光电子能谱（X-rayPhotoelectronspectroscopy）：以一定能量的X射线作为激发源，照射在检测物质表面，激发出光电子，通过对光电子的能量分布进行检测，获取的电子能谱图。获取信息：电子结合能（元素定性）原子结合状态（化学价态）半定量分析（峰面积比例）技术特点：样品用量少（<0.1g）分析范围广（3-92号元素）不需要预处理XPS分析示意图2.XPS数据分析2.1数据处理在分析的所有元素中，选择C1S在284.6ev附近找到最大的峰，将其标定为284.6ev，对结合能进行修正峰值

2、背景值结合能以O元素为例，将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白TXT文件中，保存2.2峰拟合打开XPSPeak软件，在XPSPeakFit对话框中选择Data-Import（ASCΠ），输入上步骤保存的TXT文件点击Background，弹出对话框，调整High/LowBE值，Type，然后Accept-Close背景起止数值背景类型（Shirley，Linear，Tougaard）加背景后点击AddPeak，弹出对话框，调整Position（峰位置），点击Accept后对话框消失，选择OptimiseRegion自动拟合，峰位置拟合后拟合结果不满意，继续上一步骤（添加

3、峰），点击AddPeak，弹出对话框，调整Position（峰位置），点击Accept，选择OptimiseRegion自动拟合（可多次点击）添加峰拟合后添加峰拟合前自动拟合结果不满意，那就自己动手吧！调整不同添加峰的Position（峰位置），FWHM（半峰宽），Area（峰面积）切换不同的拟合峰峰位置，、半峰宽和峰面积拟合后的结果选择存为xps文件输出XPS文件选择Data-Export（Spectrum），输出为dat文件，可用origin重新作图2.3半定量分析通过查阅不同拟合峰的峰面积，算出其相应的比例，得到半定量分析结果Thankyou！谢谢！放映结束感谢各位

4、的批评指导！让我们共同进步